판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9180516

KARL SUSS/MICROTEC MA 200은 마스크 패턴을 마이크로 칩 제작에 사용되는 기판으로 전송하는 빠르고 정확도 높은 수단을 제공하도록 설계된 마스크 정렬기 (mask aligner) 입니다. 극자외선 (EUV) 을 사용하여 반도체 기판에 노출 된 후 개발, 이미지 화 및 테스트됩니다. 마이크로 텍 MA200 (MICROTEC MA200) 은 높은 정확도와 짧은 주기 시간, 특히 복잡한 기하학 또는 높은 밀도를 가진 처리 장치에 필요한 생산 실행에 적합합니다. 이 장비는 우수한 서브 미크론 정렬 정확도 (Submicron Alignment Accuracy) 를 제공하며, 이는 여러 노출 도구 헤드를 사용하는 기능으로 향상됩니다. KARL SUSS MA-200은 PC 기반 소프트웨어에 의해 제어되며, 사용자는 프로세스 단계와 정렬을 저장, 편집 및 반복할 수 있습니다. 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 마스크를 웨이퍼에 정확하게 정렬하기 위해 시각적 단계를 사용하므로 잘못된 정렬을 줄일 수 있습니다. 이 시스템은 또한 각 레이어에 대해 반복 가능한 데이터 (repeatable data) 를 제공하여 프로세스 단계를 세밀하게 조정하고, 때마다 결과를 향상시킵니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-200에는 고속 마스크 전송 메커니즘, 정확한 초점 제어를 위한 차동 초점 피드백 메커니즘, 고해상도 이미지 뷰어, 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 등의 기능이 포함되어 있습니다. 이 장치는 신속하게 교체할 수 있는 이중화된 플러그인 (Plug-in) 구성요소를 갖춘 간편한 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 또한 작동 여부를 모니터링하고 제어하는 고급 안전 장치 (Advanced Safety Machine) 와 작업 중에 발생할 수 있는 오류를 감지하는 소프트웨어 오류 확인 기능 (내장) 이 포함되어 있습니다. 모든 안전 연동은 효율적이고 안전한 운영을 위해 모니터링되고 통합됩니다. MA200 (MA200) 은 안정적이고 효율적인 마스크 정렬기로 마이크로칩 제조 공정에 사용되는 표면에 패턴을 빠르고 정확하게 전송할 수 있습니다. 또한 자동 초점 제어 (Automatic Focus Control), 고해상도 뷰어 (High-Resolution Viewer), 고품질 마이크로칩 생산을 지원하는 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 등의 기능을 비롯하여 정확하고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다.