판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #293614878

KARL SUSS/MICROTEC MA 200은 광학 석판 공정을 위해 특별히 설계된 매우 정확하고, 다재다능하며, 강력한 마스크 정렬 자입니다. 유리 (glass), 실리콘 (silicon), 세라믹 (ceramics) 과 같은 다양한 기질에 대해 다양한 정밀 마스크를 매우 정확하고 반복적으로 정렬 할 수 있습니다. MICROTEC MA200은 독특한 3 단계 정렬 시스템, 4 점 광학 정렬, 기계식 기울기 단계 및 내장 마이크로 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 이 조합을 사용하면 매우 정확하고 반복 가능한 정렬 결과를 얻을 수 있습니다. KARL SUSS MA-200의 3 단계 정렬 시스템은 리소그래피 프로세스에서 정확성과 반복 성을 제공하는 특수 기능입니다. 첫 번째 단계는 조잡한 정렬로, 기계적 기울기 단계에 의해 수행됩니다. 이 기울기 단계 (tilt stage) 를 사용하면 기판을 원하는 위치와 정렬 각도로 이동할 수 있습니다. 조잡한 정렬이 완료되면 4점 광 정렬 (optical alignment) 을 사용하여 정렬을 미세 조정합니다. 이 단계는 마스크 및 기판의 정렬을 측정하기 위해 4 개의 개별 광학 헤드를 사용합니다. 마지막으로, 마이크로 컨트롤러 (microcontroller) 는 이전 두 단계의 데이터를 분석하고 불일치를 수정하는 데 사용됩니다. MA-200은 또한 유리에서 실리콘에 이르는 다양한 기판을 수용 할 수 있기 때문에, 매우 다재다능합니다. 이는 마스크 정렬기 내부에 내장 마이크로 컨트롤러 때문에 가능합니다. 이 "마이크로컨트롤러 '는 각 기판 의 크기, 두께, 모양 을 정확 하고 정확 하게 측정 할 수 있는 특수" 소프트웨어' 를 갖추고 있다. 마이크로컨트롤러는 각 기판의 기울기 단계 (tilt stage) 와 4 점 광학 (optics) 구조를 조정하여 각 크기, 모양 및 재료에 맞게 정렬 프로세스를 최적화 할 수 있습니다. 전체적으로 KARL SUSS MA200은 강력하고, 정확하며, 다재다능한 마스크 정렬 기이며, 독특한 3 단계 정렬 시스템, 4 점 광학, 기계식 기울기 단계 및 내장 마이크로 컨트롤러가 특징입니다. 이 마스크 정렬 (mask aligner) 은 석판 처리를 훨씬 정확하고, 안정적이며, 반복 가능하게 만들어 광학 석판 처리 (optical lithography procedure) 에 매우 적합합니다.