판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 Compact #9391681

KARL SUSS/MICROTEC MA 200 Compact는 마이크로 전자 제품 및 장치 처리를 위해 설계된 고급 마스크 정렬 장비입니다. 이 시스템은 0.30m 크기의 고해상도를 달성 할 수있는 다중 사용자 시스템입니다. 빠른 마스크 교환 시간을 제공하는 비용 효율적인 사진 촬영 솔루션을 제공하는 신뢰할 수 있는 사용자 친화적 (user-friendly) 장치입니다. MICROTEC MA 200 Compact는 고정밀 석판 기술을 전문으로하는 고급 마스크 정렬 자입니다. 이 정확한 기계는 완벽한 표면 중첩 및 측면 정밀도 (최대 ± 0.1) 를 제공합니다. 또한 레이저 기법 및 매트릭스 등록 (matrix registration) 을 사용한 직접 쓰기 (direct writing) 와 같은 여러 정렬 모드를 제공합니다. 이는 기판에 이미지화되고 정렬에 사용되는 참조 마커와 사전 배치된 마스크를 사용하는 것입니다. KARL SUSS MA-200 COMPACT는 또한 최대 300nm의 마이크로 대비 이미징을 제공합니다. 이 도구는 대형 기판, 제품, 소형 웨이퍼에 이르기까지 다양한 작업을 처리 할 수 있습니다. 기판 홀더를 사용하면 기판을 다른 방향 (orientation) 에 배치하여 다양한 제품의 정확한 정렬을 용이하게합니다. 에셋은 0.1 ~ 8mm 두께의 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 반복 가능한 정렬을 위해 고해상도 자동 포커스를 제공합니다. 또한, 이 장치는 고급 자동화를 특징으로하며 직경 6 인치 ~ 8 인치 범위의 웨이퍼 또는 기판을 처리 할 수 있습니다. 유연한 옵티컬 설계는 모든 초점에 걸쳐 뛰어난 이미징 성능을 제공합니다. 또한 광학 초점 깊이를 높이기 위해 200mm 렌즈가 특징입니다. MICROTEC MA-200 COMPACT의 입력 및 출력 스테이징에는 효율적인 로봇 마스크 교환을 가져올 수있는 2 개의 마스크 드럼 핸들러가 장착되어 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-200 COMPACT 마스크 정렬기에는 암실 및 Fab 작동을위한 표준 안전 기능이 장착되어 있습니다. 장비뿐만 아니라 운영자의 보호를 보장하기 위해 고안되었으며, 자체 진단 기능 (self-diagnostic function) 과 안전 연결 (safety interlock) 이 여러 개 있어 오작동을 감지 할 수 있습니다. 이 모델에는 최신 버전의 MA Enterprise 소프트웨어 패키지도 장착되어 있습니다. 이 최첨단 소프트웨어는 자동화된 최적화, 제어 차트, 누출 분석 (leakage analysis) 및 리소그래피 프로세스를 간소화하는 기타 여러 도구와 같은 강력한 기능을 제공합니다. 또한 내장형 장비 제어 기능 (BIST) 을 통해 시스템을 원격으로 제어하고 귀중한 장치/제품 정보를 모니터링할 수 있습니다. MA-200 COMPACT는 정확한 장비, 신뢰할 수 있는 운영, 비용 효율적인 솔루션을 갖춘 고급 사진 분석 솔루션 공급업체입니다.