판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 Compact #9350986

KARL SUSS / MICROTEC MA 200 Compact
ID: 9350986
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200 Compact는 소량 생산 및 마이크로 전자 장치의 프로토 타입에 적합한 마스크 정렬 자입니다. 포토리스 (photoresist) 마스크를 제작하는 데 적합하며, 특히 수율 (yield rate) 이 높은 비표준 장치 형상의 빠른 턴어라운드에 적합합니다. MA 200 (MA 200) 의 컴팩트 한 설계를 통해 작업 영역에 쉽게 액세스할 수 있으며, 컴팩트 프레임은 고도의 재현성과 정밀도를 제공합니다. 포토 마스크 및 기판의 정확한 정렬을위한 긴 정밀 접지 유리 판이 특징입니다. 이는 포커스 방향을 바꿀 때, 그리고 노출 된 영역의 정확한 측정을 통해 정확한 반복성을 보장합니다. 이 기계는 또한 최대 6 m의 고해상도 정렬을 제공합니다. MA 200 의 기계적 작동은 직접 드라이브 서보 모터로 구동되며, 고속 스캔 기능은 최대 200mm/s 입니다. 노출 시스템은 400 nm ~ 1060 nm의 스펙트럼을 가진 다이오드 라인 레이저 (파장의 1%) 입니다. 이 레이저는 조정 가능한 스팟 크기를 가지며, 미크론 크기의 패턴을 생산할 수있는 유연성을 제공합니다. MA 200 은 고유한 전자 성능 모니터링을 사용하여 정렬 (alignment) 오류를 면밀히 관찰하고, 특정 임계값을 초과하면 노출 주기를 중단합니다. MICROTEC Mask Aligner에는 실시간 오류 수정 및 프로세스 정확도 향상을위한 검사 시스템도 포함되어 있습니다. 이 장치는 사용하기 쉽습니다. 직관적인 터치 스크린 디스플레이는 시스템 성능에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. MA 200은 최적의 안정성과 장기적인 성능을 위해 ISO 9002 품질 표준에 따라 제조됩니다. 장치 유지 관리는 간단하고 비용 효율적입니다. 모든 액세서리 및 구성 요소는 동일한 ISO 9002 호환 환경에서 제조되어 다른 표준 구성 요소와의 호환성과 호환성을 보장합니다. 전반적으로 KARL SUSS MA 200은 photoresist 재료 및 장치 형상을 생산하기위한 안정적이고 비용 효율적인 도구입니다. 정밀 정렬, 정확성, 반복성 및 속도를 제공하여 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 부품의 빠른 프로토 타입을 위한 이상적인 솔루션입니다.
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