판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 Compact #9289493

KARL SUSS/MICROTEC MA 200 Compact는 마이크로 리토 그래피에 대한 포토 마스크의 편리하고 정확한 평면 화하도록 설계된 자동화된 완전 자동화 마스크 정렬기입니다. 특허받은 빔 스티어링 (beam-steering) 기술을 사용하여 높은 정밀도로 마스크를 빠르게 정렬하는 클로즈드 루프 (closed-loop) 마스크 정렬기입니다. 정렬자 (aligner) 는 다양한 정렬 전략을 가능하게 하는 고유하고 단단한 4 열 프레임을 특징으로합니다. 저진동 디자인과 선형 슬라이드 디자인의 MICROTEC MA 200 컴팩트 (Compact) 는 뛰어난 장기 안정성과 안정적인 결과를 제공합니다. KARL SUSS MA-200 COMPACT에는 두 가지 스캔 메커니즘이 있습니다. 첫 번째는 특허 받은 빔 스티어링 (beam-steering) 자체 정렬 메커니즘으로, 활성 (active) 요소와 수동 (passive) 요소를 모두 사용하여 지정된 위치의 몇 나노미터 이내에 마스크를 자동으로 정렬합니다. 두 번째는 시야가 최대 2000m 인 고정 빔 디플렉션 메커니즘 (fixed beam-deflection mechanism) 으로, 광범위한 패턴 적용 범위를 제공합니다. "얼라이너 '는 여러 가지" 척' 과 "웨이퍼 '단계 를 갖추게 될 수 있으며, 신속 한" 마스크' 변경 을 촉진 하는 질서 있는 "웨이퍼 '교환 장치 를 갖추고 있다. KARL SUSS/MICROTEC MA-200 COMPACT에는 자동 정렬을위한 레이저 다이오드 레이저와 에지 감지 및 검증을 위한 연속 커버 글라스 스캐닝 시스템이 장착되어 있습니다. KARL SUSS MA 200 Compact는 직경 200mm, 두께 4.5mm의 웨이퍼를 자동으로 처리하기 위해 정확한 측면 정렬 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. 또한, MICROTEC MA-200 COMPACT는 2 개의 통합 정밀 스캔 렌즈를 장착하여 올바른 정렬을 위해 샘플을 마스크에 이미지화합니다. 이러한 렌즈는 완전히 무채용이며 이미징 유연성을 극대화하도록 설계되었습니다. 이 정렬기는 또한 진동을 줄이기 위한 스캐닝 가속도계 (scanning accelerometer) 와 웨이퍼 유연성 (wafer flexure) 으로 인해 남은 정렬 잔류를 제거하기위한 평면 내 교정 메커니즘과 같은 고급 기능을 제공합니다. MA 200 Compact (MA 200 Compact) 는 운영 중단 없이 다양한 수준의 사용자 액세스를 제공하는 간편한 운영 및 최소한의 운영자 교육을 제공합니다. GUI (그래픽 사용자 인터페이스), 손쉬운 조정, 여러 가지 테스트/검증 단계를 갖춘 사용자에게 친숙한 설계를 통해 운영자는 마스크 정렬기를 사용하여 신속하게 설치, 실행할 수 있습니다. MA-200 COMPACT (MA-200 COMPACT) 는 마스크 처리에 대한 최고의 반복성과 다재다능성을 제공하며, 고정밀도 사진 분석 응용 프로그램에 적합합니다.