판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 CC #293806364

KARL SUSS/MICROTEC MA 200 CC는 사진 분석 프로세스에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 이 제품은 정확한 X-Y-Z 이동 기능으로 스테이지에서 웨이퍼를 배치할 수 있도록 매우 정밀한 광 (optical) 정렬을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치를 사용하면 반도체 처리, 광학 코팅, LCD, LED, MEMS 및 박막 증착과 같은 매우 높은 수준의 정확도가 필요한 응용 프로그램을 사용할 수 있습니다. MICROTEC MA 200CC는 198 mm 활성 필드 직경과 7.9 m의 반복 성과 최대 175mm의 조리개를 포함합니다. 그것 은 "와퍼 '에 대한 정밀 한 광학 정렬 을 보장 하는 정렬 현미경 장비 를 갖추고 있다. 뿐 만 아니라, 현미경 에는 "웨이퍼 '로" 마스크' 위 에 "패턴 '을 정확 하게 등록 하기 위한" 레이저' 장치 가 들어 있다. 모든 정렬 기능은 마이크로프로세서 기반 장치에 의해 제어됩니다. KARL SUSS MA-200 CC는 한 번에 최대 3 개의 마스크를 지원합니다. 고정밀 X-Y 광학 정렬 머신으로 더 높은 처리량을 제공합니다. 필드 크기는 20x20 mm ² ~ 150x150 mm ² 입니다. KARL SUSS MA 200CC는 또한 미세 패턴 회로 생산을 위해 빠른 패턴 변경을 용이하게합니다. 또한, 특허를 받은 자동화 도구를 통해 현미경의 자동 탐색이 가능하며, 수동 정렬을 제거하고, 반복성과 정확성을 제공합니다. MICROTEC MA-200 CC에는 긁힘과 잔류를 줄이기 위해 자동 청소 자산도 있습니다. 조정 가능한 흡입 및 리프트 메커니즘을 갖춘 고급 기판 처리 모델이 포함되어 있습니다. "타이너 '는 또한 석영, 유리, 에폭시 와 같은 여러 가지 마스크 재료 와 호환 되도록 설계 되었다. MA-200 CC (MA-200 CC) 는 다용도, 고정밀 마스크 정렬기로 높은 수준의 정확성이 필요한 어플리케이션을 위한 탁월한 제어 기능을 제공합니다. 뛰어난 반복성 (repeativility) 과 정밀성 (precision alignment) 을 제공하며 긁힘과 잔류 물을 줄이는 청소 장비를 제공합니다. 반도체 처리, 광학 코팅, LCD, LED, MEMS, 박막 증착 등 다양한 어플리케이션에 적합합니다.