판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-151 #9095086

ID: 9095086
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA-151은 마이크로 전자 산업의 박막 및 웨이퍼 처리, 리소그래피 및 검사, 사진 해설을 패턴화하는 데 사용되는 컴퓨터 제어 마스크 정렬 자입니다. 장비는 XYZ (XYZ Moving Stage), 고정밀 위치 시스템 (High-Precision Positioning System) 및 웨퍼 또는 기판에 패턴 및 피쳐를 정확하게 정렬하고 노출 할 수있는 독특한 투영 광학 장치로 구성됩니다. MICROTEC MA-151은 직경이 최대 4.0 인치인 웨이퍼를 패턴화 할 수 있습니다. KARL SUSS MA-151의 XYZ 이동 단계는 서로 상대적인 기판 및 마스크의 고정밀 위치를 허용합니다. 고정밀 위치화 장치 (High-Precision Positioning Machine) 는 0.2 미크론의 불일치를 감지 할 수있는 일련의 레이저 정렬 센서를 사용하여 마스크를 기판에 완벽하게 정렬합니다. 이를 통해 정확한 고해상도 패턴화를 달성할 수 있습니다. MA-151의 프로젝션 광학 도구는 최첨단 업계 최고의 Carl Zeiss 렌즈, 고출력 Xenon 램프 및 경량 컨트롤러로 구성됩니다. 이 조합을 통해 매우 높은 해상도로 기판에 나노 스케일 (nano-scale) 피쳐를 형성 할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-151의 광 컨트롤러에는 노출 지속 시간 (exposure duration) 및 강도 (intensity) 를 포함한 다양한 조정 가능한 설정이 있으며, 이를 통해 특정 응용 프로그램의 패턴 지정 프로세스를 세밀하게 조정할 수 있습니다. MICROTEC MA-151은 특허를받은 건식 이동 메커니즘을 사용하여 결과의 효율성과 반복성을 향상시킵니다. 이렇게 하면 각 주기 사이에 필요한 설정 시간과 시간 () 이 줄어듭니다. 자산에는 종합적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 모델의 현재 상태에 대한 적절한 피드백 (Feedback) 과 다양한 작업의 진행을 제공합니다. 결론적으로, KARL SUSS MA-151은 나노 스케일 기능이있는 웨이퍼 또는 기판을 패턴화하기위한 고정밀 마스크 정렬 자입니다. 정밀 XYZ 이동 단계, 고정밀 위치 장비 및 고급 프로젝션 광학은 마이크로 일렉트로닉 기능의 정확한 정렬 및 노출을 보장하며, MA-151은 리소그래피, 박막 및 웨이퍼 처리, 검사 및 사진 식자술 작업에 이상적인 선택입니다.
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