판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150E #9131075
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KARL SUSS/MICROTEC MA-150E는 photolithography, thin film deposition 및 solar cell production과 같은 많은 응용 프로그램에서 정밀 microfabrication에 사용되는 자동 마스크 정렬 장비입니다. 이 시스템은 높은 정확도와 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 주요 제어 장치, 스테퍼 모터 (stepper motor), 진공 척 (vacuum chuck), 정렬 센서 (alignment sensor) 및 일련의 단계를 통해 기판을 이동할 수있는 일련의 관절 암으로 구성됩니다. MICROTEC MA 150E의 주 제어 장치는 직관적인 사용자 인터페이스를 갖춘 마이크로 프로세서 제어 장치입니다. 기계의 프로그래밍과 작동을 쉽게 할 수 있습니다. 공구의 모든 컴포넌트 (component) 를 인터페이스에서 제어할 수 있으므로 기판의 정렬 및 노출 (alignment and exposure) 을 정확하게 제어할 수 있습니다. 스테퍼 모터 (stepper motor) 는 관절식 암의 정확한 위치 및 움직임을 허용하는 저에너지 모터입니다. 진공 척은 노출 중에 기판을 단단히 고정시킵니다. 그런 다음 정렬 센서는 기판의 기울기를 측정하고 필요한 모든 교정을 수행합니다. 에셋은 수동 및 자동 정렬 옵션을 모두 제공합니다. 수동 정렬의 경우, 척 (chuck) 과 홀더 (holder) 에 정렬 표시가 표시되어 쉽게 볼 수 있습니다. 이렇게 하면 재료를 정확하게 배치하고 정렬할 수 있습니다. 자동 정렬 옵션은 '광 자동 중심' 기술을 사용하여 표시를 인식하고 수정을 자동으로 수행합니다. 이렇게 하면 프로세스가 단순화되고 사용자 상호 작용이 줄어듭니다. KARL SUSS MA 150 E는 정확도 향상과 사용자 인터페이스 개선으로 인해 대부분의 일반 마스크 정렬기보다 더 빠른 작동이 가능합니다. 25nm 해상도, 원하는 품질에 따라 8 ~ 250 초의 노출 시간을 달성 할 수 있습니다. 사용하기 쉽고, 최소한의 유지 보수가 필요하므로 대규모 마스크 정렬 (mask alignment) 프로젝트를 위한 최적의 선택입니다. 신뢰성과 정확성은 업계 최고의 모델입니다.
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