판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 150c #9379206

KARL SUSS/MICROTEC MA 150c는 최첨단 마스크 정렬기입니다. 다양한 마이크로 일렉트로닉 장치 제작 프로세스에 대한 리소그래피, 포토 esist 개발 및 에칭을 수행 할 수있는 고급 머신 (advanced machine) 입니다. MICROTEC MA 150c는 수동, 자동, 노출 및 노출 후 응용 프로그램뿐만 아니라 별도의 클린 룸 호환 공정 챔버를 갖춘 2 챔버 설계를 갖추고 있습니다. KARL SUSS MA 150 C는 단단한 단조 알루미늄 구조를 가지고 있으며, 전체 작동 높이 1.5m에 비해 매우 엄격한 지원을 제공합니다. 이 구조는 또한 열과 빛 흡수를 위해 균일 한 검은 에폭시로 코팅됩니다. 잘 쿠션 된 Y-Z 및 I-I 축은 최대 20kg 물체의 대용량을 유지하면서 고도의 정밀 정렬을 제공합니다. 전체 작업 영역은 최대 203mm x 203mm 크기의 평평한 표면을 수용 할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA 150 C는 2 개의 캐비닛 내 레이저 소스와 스캐닝 미러로 구성된 통합 레이저 정렬 시스템을 갖추고 있으며, 포토 마스크 포지셔닝에서 높은 수준의 정확성을 제공합니다. 편의상 반자동 4 트랙 웨이퍼 및 노출 처리기 (사진 마스크 및 웨이퍼 프레임을 몇 초 안에 배치하고 교환 할 수 있음) 도 포함되어 있습니다. KARL SUSS MA 150c에는 리소그래피 외에도 완전 자동 개발 스테이션과 노출 후 슬롯 다이 코터 (slot-die coater) 가 장착되어 있습니다. 개발 도상국과 슬롯 다이 코터 (slot-die coater) 는 다른 유형의 포토 esist를 정확하게 증착 할 수 있습니다. 노출 후, 마스크가 자동으로 정렬자로 전송되어 etch 프로세스 (해당하는 경우) 를 허용합니다. MA 150c는 높은 처리량을 제공하도록 설계되었으며, 이는 0.2 미크론 (Mask-Alignment) 과 비교해 평균적인 0.2 미크론을 지원합니다. 완전한 자동화 (full automation) 를 제공하지만 사용이 간편한 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 시스템 프로세스를 간편하게 제어하고 모니터링할 수 있습니다. MA 150 C는 15 ~ 35 ° C의 통합 Peltier 모듈을 통해 온도를 제어하며, 일정한 온도를 유지하여 일관된 결과를 보장하도록 설계되었습니다. 전반적으로 MICROTEC MA 150 C Mask Aligner는 전체 자동화 및 사용자 친화적 인 제어 인터페이스와 결합되어 매우 정확하고 정확한 마스크 정렬을 제공하는 최첨단 머신으로, 마이크로 일렉트로닉 장치 제작에 이상적인 시스템입니다.