판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9390593
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ID: 9390593
웨이퍼 크기: 5"
Mask aligner, 5"
Alignment type: Top side alignment and BSA
Cassette to cassette
USH-350 DS Lamp.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150은 마이크로 머시닝, 리소그래피 및 마스크 등록 어플리케이션을 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공하기 위해 설계된 최첨단 마스크 정렬기입니다. 기판으로 패턴을 전송하기 위해 포토 마스크 (photomask) 를 매우 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 정밀 광학 시스템, 마이크로 일렉트로닉스, 생명 과학, 소비자 제품 등 다양한 산업에 이상적인 MICROTEC MA150은 광범위한 프로세스 및 재료를 위한 유연한 마스크 수준의 정확성을 제공합니다. KARL SUSS MA 150은 다양한 작업을 수행 할 수있는 강력한 시스템입니다. 1 m 해상도의 이미지를 캡처 할 수있는 5 메가 픽셀 카메라가 장착되어 있습니다. 또한 2 개의 정밀 스테이지가 장착되어 있으며, 최소 5 유로 (m) 의 스텝 크기로, 사용자가 기판에서 마스크와 마스크를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 또한 MA150에는 비교 (Comparator) 및 카메라 (Camera) 지원 모드를 통한 정렬 프로세스와 4 채널 비디오 프로젝터 및 4 포스트 에지 센터와 같은 정렬 액세서리를 지원하는 다양한 이미징 시스템이 제공됩니다. MA-150은 또한 다양한 환경 단위와 함께 사용되어 성능을 더욱 높일 수 있습니다. 예를 들어, 진공 장치 (Vacuum Unit) 는 마스크 및 기판이 프로세스 중에 정렬되도록 깨끗하고 안정적인 환경을 제공 할 수 있습니다. 또한, 공정 챔버의 수분 및 산소 함량을 제어 할 수있는 NC4 하이드로 유닛 (NC4 Hydro Unit) 은 KARL SUSS MA150에 연결되어 오염 발생률을 줄일 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA150은 작고 정확하며 사용하기 쉽습니다. 이 시스템은 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 로 설계되어 기판 크기, 노출 시간, 가공 패스 수 (Number of Pass) 등 다양한 설정을 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 이 시스템에는 특정 프로세스에 대해 사전 설정된 작업 설정 라이브러리가 내장되어 있습니다. 결론적으로, MA 150은 패턴을 기판으로 옮길 수있는 포토 마스크 (photomask) 를 매우 정확하게 정렬 할 수있는 강력한 마스크 정렬기입니다. 고해상도 카메라, 정밀 스테이지, 다양한 이미징 시스템을 통해 다양한 업계에서 사용할 수 있습니다. 또한, 사전 설정된 작업 설정과 환경 단위의 내장 라이브러리는 성능을 더욱 향상시킵니다.
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