판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9384739

KARL SUSS/MICROTEC MA-150은 반도체 장치 제작의 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 완전 자동화 된 마스크 정렬 자입니다. 마이크로 전자 회로 패턴을 웨이퍼 표면에 전달하는 데 사용됩니다. MICROTEC MA150은 쿼츠 광학 창을 통해 저항으로 덮인 웨이퍼에 최대 1500 밀리와트 (mW) 의 노출 에너지를 제공합니다. KARL SUSS MA 150은 높은 정렬 정확도, 광시야각, 높은 처리량 등 다양한 기능을 제공합니다. 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 의 정확한 등록 및 정렬을 위해, 장비에는 고해상도 시각적 정렬 시스템과 자동 정렬 장치 (옵션) 가 장착되어 있습니다. KARL SUSS MA150은 또한 높은 인덱스 쿼츠 광학 창, 0.1mW ~ 15mW 노출 에너지 수준, 파장 535 ~ 650nm 사이의 광원, 7 인치 웨이퍼를 포함하는 넓은 시야를 특징으로합니다. 이 기계는 높은 노출 정확도 및 반복성, 높은 처리량, 저렴한 가격으로 반도체 노출 프로세스에 최적화되어 있습니다. 마이크로 텍 (MICROTEC) MA-150은 섭씨 50도까지의 온도를 포함하여 광범위한 온도에서 작동 할 수 있으며, 전체 웨이퍼에 균등한 포토 esist 노출을 보장합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA 150은 사용하기 쉽고 사용자 친화적 인 터치 스크린 디스플레이 (touch-screen display) 와 다양한 노출 레시피를 장착하여 프로그래밍 및 저장할 수 있습니다. 이 도구는 다크필드 (darkfield) 와 브라이트필드 이미징 (brightfield imaging) 도 가능하여 결함을 쉽게 감지 할 수 있습니다. 노출 패턴은 메모리에 저장하고 반복 노출을 위해 리콜 될 수 있습니다. 또한, MICROTEC은 (는) 저장된 노출 패턴을 수정하는 데 사용할 수 있는 옵션 노출 생성기 소프트웨어를 제공합니다. MA150 은 신뢰할 수 있고, 반복 가능한 결과를 제공하는 고성능 정렬 및 리소그래피 (lithography) 자산으로, 까다롭고 정확한 리소그래피 프로세스가 필요한 애플리케이션에 적합합니다. SMB (중소, 중견, 성장 기업) 및 대규모 집적 회로 제작을 위한 강력한 툴입니다.