판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9361613
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KARL SUSS/MICROTEC MA-150은 사진 리토 그래피 (photolithography) 프로세스에서 패턴을 기판으로 전달하는 데 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 이 정렬기는 자외선 (UV) 과 정밀 광학을 사용하여 반도체 또는 기타 기판에 마스크를 정확하게 정렬하여 원하는 패턴을 현실로 만듭니다. 이 유형의 정렬 자 (aligner) 는 주로 수십 미크론에서 1 미크론 미만의 기능이있는 중소 정밀 리소그래피 작업에 사용됩니다. MICROTEC MA150 Mask Aligner는 광학 석판의 원칙에 따라 작동합니다. 광원 (일반적으로 UV 광원) 을 사용하여 기판에 녹색 광원을 투영하고, 디자인 표시가있는 마스크를 사용합니다. 빛의 마스크 블록 부품 (Mask Block Parts) 에 있는 설계 표시로, 아래 기판에 설계의 그림자가 만들어집니다. "마스크 '는 정밀 한 동력" 시스템' 을 갖추고 있으며, 이것 은 최대 0.2 "미크론 '의 정렬 정확도 를 제공 한다. KARL SUSS MA 150은 크기에 편리한 기계로, 거의 모든 클린 룸 또는 실험실에 적합 할 수 있습니다. 그것 은 다른 비슷 한 "타이너 '들 에 비하여 작은 발자국 을 가지고 있으며, 설치 하고 작동 하기 쉽다. 일단 설정되면 MICROTEC MA 150은 반자동 또는 수동으로 작동 할 수 있습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 aligner 설정을 쉽게 조정할 수 있으므로 빠른 마스크 처리 작업에 적합합니다. 고정밀 광학 정렬 시스템 덕분에 MA-150은 해상도를 600 ~ 1100 nm 까지 낮출 수 있습니다. 또한 고급형 광학으로 인해 이미징 균일성이 > 90%, 초점 깊이가 좋습니다. MA 150은 환경 친화적 인 UV 스캔 렌즈로 설계되었습니다. 즉, 공기, 건조 질소 또는 산소 환경에서 사용할 수 있습니다. KARL SUSS MA150 (KARL SUSS MA150) 은 고급 마스크 정렬 기능으로, 높은 수준의 디테일로 패턴을 기판으로 정확하게 전송할 수 있습니다. 사용 편의성과 강력한 광학 시스템 (Optical System) 은 중소기업에 적합하며, 높은 정밀도를 필요로 합니다.
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