판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9250236

KARL SUSS/MICROTEC MA-150은 광도 사진 처리를 위해 설계된 정밀 마스크 정렬 자입니다. 12 ~ 50cm 크기의 기판과 나노 미터 (nanometer) 의 크기 범위에서 기판을 노출하고 패턴화하도록 설계되었습니다. MICROTEC MA150은 고급 리소그래피 기법과 다양한 노출 기법 (예: 연속 스캔, 스텝/스테어 및 교대 반복 스캔) 을 사용합니다. KARL SUSS MA 150에는 8 축 동작 제어 장비가 장착 된 모듈식 디자인이 있습니다. 즉, 최적화된 제어 시스템과 고정밀 동작 기능을 결합하여 높은 정확도, 반복성, 처리량을 제공합니다. 이 장치는 다양한 교환 가능한 광학으로 여러 마스크 단계를 수용할 수 있도록 확장 (expanding) 할 수 있으며, 다양한 포토 리토 그래피 (photolithography) 응용 프로그램에 이상적입니다. KARL SUSS MA150은 렌즈 통과 (through-the-lens) 작동에 대한 동적 초점 및 패턴 조명을 제공하여 균일성 (unifority) 및 선 너비 (line width) 와 같은 중요한 프로세스 변수를 완벽하게 제어하는 일관된 노출 매개변수를 제공합니다. 이 기계는 또한 정확도와 처리량을 향상시키기 위해 자동 교정 루틴을 갖추고 있습니다. MICROTEC MA-150은 자동 등록, 자동 확대/축소, 자동 중심 등 광 및 기판 처리를 위한 여러 가지 내장 기능을 제공합니다. 이 고유한 도구는 뛰어난 오버레이 정확도를 제공하며, 노출 시간을 줄이고, 고르지 않은 서피스와 불규칙한 서피스를 처리할 수 있는 유연성을 제공합니다. MA150에는 실시간 모니터링 및 데이터 획득을 위해 고해상도 CCD (Charge Coupled Device) 이미징 자산이 장착되어 있습니다. 이 모델은 표준 리모콘, 이더넷 및 USB 인터페이스도 지원합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA150은 photolithography 장비 및 서비스의 주요 제공 업체 인 MICROTEC에서 제조합니다. 이 장비는 과학 연구/기기 제작을 위한 신뢰할 수 있는 고성능 (HPS) 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. MICROTEC MA 150은 고정밀도, 고출력 리소그래피 작업에 이상적인 선택입니다.