판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9250235

KARL SUSS/MICROTEC MA-150은 정밀 사진 해설을 위해 전자 산업의 전문가들이 사용하는 전문 마스크 정렬 자입니다. 고해상도 미세 구조에 대한 일련의 패턴화 된 포토 마스크 (photomask) 의 반복 정렬 및 노출에 사용되는 매우 정밀한 도구입니다. MICROTEC MA150은 매우 정확한 스테핑 모터, 광전 인코더, 전동 마스크 변환, 고급 정렬 시스템 등 다양한 고급 기능과 기능을 통합했습니다. 이 장치의 고해상도 광학 장비는 자동 초점 장치 (automated focusing mechanism) 를 사용하여 다이 (die) 영역 전체에 매우 정확한 마스크 배치를 제공합니다. 정밀도 조절은 포토 마스크 (photomask) 의 몇 미크론 내에 정확한 정렬을 허용합니다. 자동 6축 동작 제어 (automated 6-axis motion control) 를 사용하는 시스템은 스테퍼 모터를 사용하여 다이 전역의 포토 마스크 회전, 변환 및 선형 이동을 정확하게 제어합니다. 이를 통해 다이 (die) 에 정확한 패턴 배치 (pattern placement) 를 허용하고 각 노출에 대해 가장 높은 정확도를 보장합니다. KARL SUSS MA 150은 또한 사용자에게 광범위한 고급 기능을 제공합니다. 웨이퍼 스태이징 장치 (wafer staging unit) 는 노출 챔버 (exposure chamber) 에 웨이퍼가 배치되는 방식을 최적화하기 위해 조정 가능한 매개변수를 갖춘 견고한 설계를 가지고 있습니다. 이 기계는 또한 표에 다이 (die) 상의 마스크 배치 위치를 표시하는 색상 코드 정렬 표시기를 포함합니다. 이 도구는 또한 통합 된 완전 자동 검사 및 머신 비전 에셋 (Machine Vision Asset) 을 특징으로하며, 다이 내에서 기판의 잘못된 정렬 또는 결함을 감지하고 보고합니다. MA-150은 사용자에게 완전한 노출 정확성을 보장하는 다양한 도구를 제공합니다. 수동 정렬을 돕기 위한 LED 현미경 (LED microscope) 을 제공하며, 다음 웨이퍼 (wafer) 에 저장하고 사용할 노출 조건으로 노출 이미지를 캡처하는 데 사용되는 통합 고해상도 카메라가 있습니다. KARL SUSS MA150 은 마스크 로더 (mask loader) 와 마스크 저장 스탠드 (mask storage stand) 와 같은 다양한 액세서리와 함께 제공되어 사용을 더욱 향상시킵니다. MA150 (MA150) 은 단일 노출 설정으로 최대 7 단계의 노출을 처리하도록 설계되어 어려운 작업을 처리하도록 설계되었습니다. 또한 다양한 사용자 정의 설정을 통해 노출 매개변수를 완전히 최적화 할 수 있습니다. 이것은 정밀 노출 및 정렬을위한 신뢰할 수있는 도구를 찾는 모든 사람에게 이상적인 선택입니다 (영문).