판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9194539

KARL SUSS/MICROTEC MA-150은 반도체 웨이퍼, 박막 기판 및 다양한 광학 재료에 정확한 패턴을 인쇄하는 데 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 마이크로칩, 평면 디스플레이, 광전자 장치, 기타 부품과 같은 반도체 부품의 제작 과정에서 중요한 역할을 수행합니다. 이 "마스크 '정렬 장치 는 정밀" 레이저' 광선 을 사용 하여 작은 물체 와 기판 을 빠른 속도 와 정확도 로 조사 하는 한편, 뛰어난 반복성 과 해상도 를 제공 한다. MICROTEC MA150은 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 메인 유닛, 본체, 마스크 스테이지 및 노출 헤드. 주 장치 에는 "레이저 '소스, 광학" 미러' 및 "시스템 '의 기능 을 제어 하는 제어판 이 들어 있다. 본체 에는 방패 벽 과 청소 장치 가 있는데, 이것 은 마스크 "스테이지 '를 청소 하고 그 정확성 과 안정성 을 보장 할 수 있다. 마스크 단계 (Mask Stage) 는 조사 프로세스 (irradiation process) 를 위해 마스크를 배치하는 위치이며, 노출 헤드 (Exposure Head) 에는 기판을 사용하여 마스크를 정확하게 정렬 할 수있는 광학 및 초점 메커니즘이 포함되어 있습니다. 노출 헤드는 섭씨 -30 도까지 낮은 온도에 도달 할 수 있으며, 이는 마스크 (mask) 단계에서 오염이 형성되는 것을 막는 데 유용합니다. KARL SUSS MA 150은 다양한 기능을 제공하여 매우 유능한 마스크 정렬기를 제공합니다. 시속 75 "웨이퍼 '의 속도 로 작동 할 수 있으며, 노출 머리 는" 마스크' 와 기판 에 초점 을 맞추어 자동적 으로 조정 할 수 있다. 또한, 노출 헤드 (Exposure Head) 에는 고출력 레이저 소스가 장착되어 있어 높은 정확도와 해상도를 얻을 수 있습니다. 또한 KARL SUSS/MICROTEC MA150은 조정 가능한 조사 전력 및 노출 시간을 가지고 있으므로 다른 기판 및 응용 프로그램 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 결론적으로, MICROTEC MA-150은 높은 정확성과 반복성, 초점 및 노출을위한 자동 기능, 조정 가능한 조사 능력을 제공하는 반도체 처리에 필수적인 마스크 정렬 자입니다. 기판 (기판) 과 웨이퍼 (웨이퍼) 에 대한 정확한 패턴을 실행할 수 있도록 다양한 기능을 갖추고 있으며, 다양한 처리 요구에 적응할 수 있는 어느 정도의 유연성을 제공합니다. KARL SUSS MA150은 안정적이고 비용 효율적인 반도체 처리를 위한 고정밀 도구입니다.