판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9168355
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ID: 9168355
Mask aligner, parts system
Ignition box: 1000 watts
Cables
Covers metal bars and screws
(17) Small PCBs are in card box
(2) Elevator assemblies
(2) Joysticks
Pre-aligner assembly
X-Axis lead screw
Upper and lower microscope mechanism
WEC Head
KARL SUSS Monitor (Bad screen)
Does not include:
UV Optics
Microscope and UV power supply.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150은 집적 전기 회로의 제작에서 고급 사진 해설을 위해 설계된 정교한 고정밀 마스크 정렬기입니다. 150mm 작업 영역이 있으며, 반도체 연구, 메모리 칩 프로그래밍, 액티브 회로 설계 (Active Circuit Design) 등 IC 생산의 광범위한 응용 분야에 이상적입니다. 정렬자는 완전한 자동 XYZ 테이블과 통합 광 장비 (Optical Equipment) 를 포함한 여러 컴포넌트로 구성됩니다. XYZ 테이블을 사용하면 다양한 정렬 마스크를 정확하게 배치할 수 있습니다. 진공계 는 "마스크 '를 굳게 고정 시킨다. 광학 장치에는 레이저 소스, 트윈 게이트 광학 기계 및 초고해상도 광 검출기가 포함됩니다. 이 조합을 사용하면 마스크를 기판으로 매우 정확하게 정렬할 수 있고, 이미지 기반 정렬 도구 (Alignment Tool) 를 사용하면 보다 정밀하게 정렬할 수 있습니다. MICROTEC MA150은 두 가지 방법으로 마스크 모양과 정렬을 결정할 수 있습니다. 두 개의 인접한 마스크 사이에 잘못된 정렬을 감지하여 매우 효율적인 마스크 배치가 가능합니다. 대안 적으로, 그것은 단일 마스크의 모양을 탐지 할 수 있으며, 이는 5äm 정도의 작은 모양을 매우 정밀하게 제작 할 수 있습니다. 이것 은 "마스크 '를" 마이크로일렉트로닉스' 공업 에 종사 하는 것 들 을 포함 하여 광범위 한 응용 에 잘 맞춘다. KARL SUSS MA 150도 매우 사용자 친화적입니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 Photolithography 작업을 수행할 수 있는 다음 단계를 손쉽게 수행할 수 있습니다. 정렬 매개변수가 입력되면 MA-150은 각각 마스크 및 서브미크론 패턴을 기판에 정렬합니다. 이 정렬기는 또한 다양한 고급 기능 (예: 자동 노출 제어 및 왜곡 수정) 을 제공합니다. 이를 통해 정확성과 반복성이 크게 향상됩니다. KARL SUSS/MICROTEC MA 150은 사진술 세계에서 주류가되었습니다. 고해상도 (High-resolution) 광학, 자동화된 기능, 통합형 광학 자산을 통해 정확하고 복잡한 회로 레이아웃을 만들 수 있는 완벽한 툴입니다. 사용 편의성 및 다중 정렬 (Multiple Alignment) 작업을 수행할 수 있으므로 고급 IC 프로젝트에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다.
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