판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293830872

ID: 293830872
빈티지: 1993
Mask aligner Objectives: 3.2x, 5x, 9x Power supply: 220 V, 1200 VA 1993 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150은 다목적 자동 마스크 정렬 기이며 사진 해설을 위해 설계되었습니다. 이 마스크 정렬기는 고해상도 성능을 제공하며 패턴을 웨이퍼, 기판 및 기타 포토 리토 그래피 프로세스 (예: TSV (through-silicon vias) 및 photomask) 로 전송하는 데 사용할 수 있습니다. 기판에서 하위 미크론, 고도로 정확한 모양, 선, 정렬 및 기타 기능을 달성 할 수 있습니다. MICROTEC MA150 마스크 정렬 장치 (MA150 mask aligner) 는 컴팩트한 디자인 및 정밀 측정 메커니즘을 특징으로하여 높은 수준의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 파장 범위가 248nm - 365nm 인 고급 자외선 (UV) 광원을 사용하며, 프로그래밍 가능한 초점 전략을 통해 광범위한 노출 설정이 가능합니다. KARL SUSS MA 150 마스크 정렬 기 (aligner) 는 또한 높은 정확도를 보장하면서 정렬 프로세스의 실시간 뷰를 제공하는 온보드 카메라 시스템을 포함합니다. 이 카메라 시스템은 또한 마스크 및 기판의 약간의 잘못된 정렬을 보상합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA 150은 여러 크기의 웨이퍼, 기판 및 테스트 기판을 지원하므로 많은 photolithography 프로세스를위한 다목적 도구입니다. 통합 소프트웨어를 사용하여 운영자는 CAD/GDSII 설계를 쉽게 가져오고, 분석하고, 수정할 수 있습니다. 또한, 자동 피쳐 감지, 매개변수 최적화 및 단순화 된 사용자 인터페이스가 특징입니다. KARL SUSS/MICROTEC MA150 (KARL SUSS/MICROTEC MA150) 은 산업 환경에서 견고한 성능을 제공하도록 설계되었으며 온도 변화, 먼지, 화학 물질 노출, 충격 및 진동을 견딜 수 있도록 테스트되었습니다. 따라서 KARL SUSS MA150 은 운영 환경뿐만 아니라 프로세스 제어 애플리케이션에도 적합합니다. 종합적인 기능 세트를 통해 MA150 마스크 정렬기는 많은 photolithography 프로세스에 적합합니다.
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