판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293822128

KARL SUSS / MICROTEC MA-150
ID: 293822128
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 1995
Mask aligner, 4" 1995 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150은 복잡한 광학 및 전자 부품 제조에 사용되는 마스크 정렬 유형입니다. 또한, 통합 광학 및 전자 부품 생산과 관련된 엔지니어링 및 과학 연구에 사용됩니다. 광학 1 단계, 전자 2 단계의 2 단계 기계입니다. MICROTEC MA150에는 각각 자체 위치, 동작 및 조명 제어가 장착 된 2 개의 독립 스테이지가 장착되어 있습니다. 위치 제어는 독립적인 이중 축 (dual-axis) 단계 작동을 기반으로 모든 레이어를 여러 번 정렬할 수 있습니다. 스테이지의 동작은 일반 X-Y 좌표로 제한되지 않지만, 비선형 조정으로 프로그래밍 할 수 있으므로 곡선 (curved) 및 원형 (circular) 패턴을 생성할 수 있습니다. 조명 제어 (illumination control) 를 통해 투사된 패턴의 노출 시간, 강도, 모양, 크기를 정확하게 제어할 수 있으므로 미세 정렬이 필요한 응용 프로그램에 적합합니다. 이러한 기능 외에도 KARL SUSS MA 150에는 다양한 옵틱 (optic) 옵션이 장착되어 있으므로 다양한 재료를 사용할 수 있습니다. 조명 모듈은 고품질 풀 컬러 LCD (Full-Color LCD) 화면으로 구성되어 있으며, 미리 정의된 디자인 라이브러리에서 원하는 마스크 패턴을 선택하고 미리 볼 수 있습니다. 칼 수스 MA150 (KARL SUSS MA150) 은 또한 다양한 방향으로 이미지를 캡처하기 위해 양쪽의 여러 지점에 위치 할 수있는 2 개의 카메라로 구성된 강력한 이미징 시스템을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 모든 응용 레이어의 광학 정렬 (optical alignment) 과 영향을 정확하게 측정하고 분석할 수 있습니다. 정확성에 관해서는 KARL SUSS/MICROTEC MA150은 1 미크론까지 정확한 나노 스케일 정렬이 가능합니다. 또한, 시스템은 다양한 매크로로 프로그래밍 될 수 있으며, 이를 통해 단일 노출로 복잡한 다중 계층 광학 구조 (multilayered optical structure) 를 만들 수 있습니다. 전반적으로 KARL SUSS/MICROTEC MA 150 마스크 정렬기는 매우 유능한 기계로, 다양한 응용 프로그램의 요구를 충족시킬 수 있습니다. 그것 은 매우 정확 하고 정확 하며, 극히 정밀 한 광학 및 "전자 '부품 들 을 만드도록" 프로그램' 할 수 있다.
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