판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293775032
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293775032
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1993
Mask aligner, 6"
Cassette to cassette
Automatic wafer handling system
Lamp house: 1000 W (Hg) with CIC1000 Power supply
OSRAM 1000 with lamp
Pre-alignment
Semi-automatic front side alignment
Joystick controller
1993 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150은 TCO (총소유비용) 가 낮은 고급 고정밀 마스크 정렬기로, 대학 및 소규모 생산 시설뿐만 아니라 연구 개발 실험실에도 적합합니다. MICROTEC MA150 (MICROTEC MA150) 은 사용이 간편한 소프트웨어로 정렬을 정확하게 제어하여 중요한 매개변수를 신속하게 조정하여 마스크 배치 및/또는 기판 잘못 정렬의 부정확성을 보상합니다. KARL SUSS MA 150은 사전 정렬 된 마스크 및 기판을 사용하여 사용자 개입 없이 빠르고 정확하게 정렬합니다. 정렬의 정확성은 두 개의 마이크로 미터 나사 (micrometer screw) 와 레티클 스테이지 (reticle stage) 의 정확한 조정을 통해 결정되므로 장비가 정확한 정렬과 최소한의 등록 오류를 생성할 수 있습니다. 또한 KARL SUSS/MICROTEC MA 150은 4 인치 및 6 인치 웨이퍼, 유리 및 박막을 포함한 다양한 기판에서 반복 가능한 정렬이 가능합니다. 또한 마스크 정렬 시스템 (Mask Alignment System) 에는 공기 베어링 단계가 있어 매우 매끄럽고 선형적인 이동이 가능하므로 정확도가 높아지고 반복성이 정확합니다. 통합 마이크로 프로세서 컨트롤러 (Integrated microprocessor controller) 는 레티클 스테이지의 움직임을 정확하고 반복적으로 제어하고 가능한 가장 정확한 드랜 지 (Drange) 결과를 얻기 위해 사용됩니다. MICROTEC MA-150 (MICROTEC MA-150) 은 자동 이미지 인식 및 자동 초점 기능을 갖춘 고해상도 시청 장치 (High-resolution Viewing Unit) 를 갖추고 있어 마스크 및 기판의 기능을 빠르고 정확하게 인식 할 수 있습니다. 또한 이 도구에는 자산에 의한 위치 (positional) 및 각도 (angular) 조정을 수동으로 조정할 수 있는 여러 소프트웨어 기능이 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 모델에서 가장 정확한 정확성을 얻을 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA150 Mask Alignment Equipment는 통합 진공 척, 웨이퍼 활, 가열 기판 척, 기판 스페이서 및 고급 광학 계량을위한 오버 헤드 장착 175W 엘립소미터를 포함한 액세서리를 완벽하게 보완 할 수 있습니다. 이 고급 마스크 정렬 시스템 (Advanced Mask Alignment System) 은 리서치 (Research) 및 프로덕션 레벨 (Production-Level) 애플리케이션의 까다로운 요구를 충족하도록 설계되었으며, 더 높은 수준의 성능을 위해 다양한 추가 장치 구성 요소와 통합될 수 있습니다.
아직 리뷰가 없습니다