판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293695701

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 Mask Aligner는 집적 회로를 패턴화하기 위해 광저항 마스크를 기판에 정확하게 정렬하고 노출하도록 설계된 고정밀 사진 석판화 장비입니다. MICROTEC MA150은 실리콘, 유리, 석영 및 유전체와 같은 단단한 기질뿐만 아니라 폴리 비닐리덴 클로라이드 (PVDF), 폴리 우레탄 및 폴리 에스테르와 같은 유연한 기질을 지원하는 최대 크기 4 "x 4" 의 기판 테이블을 특징으로합니다. 또한 aligner에는 최대 4 개의 4 "x 4" 마스크를 담을 수있는 마스크 카세트와 자동 기판 로딩/언로딩을위한 5 위치 기어 구동 샘플 척이있는 마스크 홀더가 포함됩니다. 정확하고 반복 가능한 정렬을 보장하기 위해 KARL SUSS MA 150은 선형 인코더에 의해 구동되는 동력 3 축 정렬 단계를 가지며, 위치 정확도는 최대 0.1 µm입니다. 또한 3 개의 객관적인 렌즈가있는 자동 초점 시스템 (4X, 10X 및 20X) 이 포함되어 있으며 웅장한 50 미크론 시야를 제공합니다. Aligner의 광학 장치는 0.2äm, 가변 노출 시간은 200ms ~ 10000ms, LED 전원은 9mW/cm2, 노출 범위는 최대 8J/cm2입니다. MA-150 마스크 정렬기는 선형 싱크로 마이크로 스캐닝 (synchro-micro-scanning) 기술을 사용하여 최소 선폭이 1 µm인 기판을 노출시킵니다. UV, Near-IR 및 E-beam 포토리스트에 적합하며, 작업을 간소화하고 DOS, UNIX 및 Windows 플랫폼과 호환되는 자동화된 프런트엔드 제어 머신을 갖추고 있습니다. 이 도구는 사용자가 프로그래밍 할 수있는 모션 컨트롤 (motion control) 자산을 사용하여 기판 처리 및 정렬을위한 고정밀 진공 서브 시스템을 제공합니다. MA150 Mask Aligner는 웨퍼 조사, 마이크로 범프 병합, 고 종횡비 UV 쓰기, RGB 자동 색상 감도 석판화 석판화 및 기타 마이크로 페이브라이션 프로세스에 사용할 수있는 안정적이고 효율적이며 비용 효율적인 사진 석판화 솔루션입니다. 프로세스. 견고한 구성과 직관적인 운영 모델을 갖춘 이 제품은 비용 효율적인 시제품 (prototyping) 과 파일럿 (pilot) 생산에 이상적인 도구입니다.