판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293603359
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ID: 293603359
웨이퍼 크기: 5"
Mask aligner, 5"
Alignment type: Top side alignment and BSA
Cassette to cassette
USH-350 DS Lamp.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150은 MICROTEC이 개발 한 현대 자외선 (UV) 마스크 정렬 자입니다. 반도체 리소그래피 (lithography) 를 위한 고성능 도구이며, 다양한 photolithography 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. MICROTEC MA150 (MICROTEC MA150) 은 정밀 정렬을 위해 제작되었으며, 전체 동작 범위에서 매우 정확합니다. KARL SUSS MA 150은 다양한 구성 요소를 사용하여 구성됩니다. 설계의 핵심에는 고정밀도 광학 시스템과 통합된 특허받은 마이크로빔 (Microbeam) 기술이 있다. 이 조합을 통해 MICROTEC MA 150은 서브 미크론 레벨 정렬 정확도를 달성 할 수 있습니다. 이 정확도는 독특한 "마크 II (Mark II)" 빔 스테퍼 (beam stepper) 에 의해 더욱 향상되었으며, 이는 동작 외에도 빔 크기와 모양을 세밀하게 제어 할 수 있습니다. MA 150도 안정성을 위해 설계되었습니다. 기계의 모든 구성 요소는 장기 사용을 위해 제작되었으며, 모든 MA150 (MA150) 은 출고 전에 공장에서 테스트되었습니다. 이는 모든 KARL SUSS MA-150 장치가 처음부터 모든 잠재력을 발휘하도록 보장합니다. MICROTEC MA-150은 시스템의 모든 측면을 제어하는 사용자 친화적 GUI와 함께 제공됩니다. 여기에는 다양한 형식으로 패턴을 전송하는 기능 (예: 다양한 패턴 관련 기능) 이 포함됩니다. 따라서 여러 마스크와 필드에 걸쳐 패턴을 확장하고 복제하는 것이 훨씬 쉬워집니다. 또한 MA-150은 웨이퍼 마크 (wafer-mark) 이동을 추적하고 정확도가 높은 기능 간의 거리를 측정 할 수 있습니다. 전반적으로 KARL SUSS MA150은 반도체 석판화 및 사진 석판화 응용 프로그램을위한 강력한 도구입니다. 높은 정확도와 신뢰성 있는 설계로, 정밀 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 및 기타 관련 부품으로 작업하는 전문가에게 이상적인 선택입니다. 또한, 사용자 친화적인 GUI 와 다양한 패턴 관련 기능 (pattern-related feature) 을 통해 다양한 작업에 이상적인 선택이 가능합니다.
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