판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 150 M #9190410

KARL SUSS/MICROTEC MA 150 M은 다양한 패턴 생성, 사진 분석 프로세스 및 정밀 정렬 작업에 사용되는 다목적 마스크 정렬 자입니다. 고해상도 접촉 노출, 근접 노출, 레이어 정렬 및 3D 정렬을 수행 할 수 있습니다. 마스크 정렬기에는 통합 정밀 위치 지정 단계, 8 "x 8" 쿼츠 노출 소스, XY 정렬을위한 고정밀 CCD 센서 및 XY 정렬 컴퓨터가 장착 된 고급 제어 장비가 포함됩니다. 마스크 정렬기 내의 Precision 포지셔닝 시스템은 뛰어난 반복성, 정확성, 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 압전 액츄에이터를 사용하여 X, Y 및 Z 방향으로 정확하게 수정합니다. 이 단위를 사용하면 작업 조각을 정확히 정렬하고, 노출 과정에서 올바르게 배치할 수 있습니다. 노출 원은 고급 시공기 광학을 사용하여 작업 분야에서 균일 한 빔을 생성합니다. 이를 통해 photolithography 프로세스 중에 패턴이 정확하게 노출됩니다. CCD 센서는 고정밀 감지 및 정렬 기능을 제공하며, 서브미크론 수준에 맞출 수 있습니다. 또한 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 장치 작업을 제어하고 데이터 처리를 수행할 수 있도록 내장된 개인용 컴퓨터가있는 컴퓨터화된 제어기 (Computerized Control Machine) 를 갖추고 있습니다. 컴퓨터는 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 쉽게 사용할 수 있어 프로그래밍과 결과를 쉽게 표시할 수 있습니다. 이 도구에는 숫자 키패드 (keypad) 와 에셋을 시각화하고 상호 작용하기 위한 비디오 모니터 (monitor) 도 포함되어 있습니다. MICROTEC MA 150M은 MICROTEC MA 150 Mask Aligner Table을 포함한 다양한 마스크 및 노출 도구, I-Line, 248nm 및 365nm 노출 도구와 같은 다양한 액세서리 및 노출 도구와 호환됩니다. KARL SUSS MA-150M은 많은 기판, 재료 및 패턴과 호환되며 다양한 정렬 및 노출 기능을 제공합니다. 전반적으로 KARL SUSS MA-150 M 마스크 정렬기는 우수한 패턴 생성, 사진 분석 및 정렬 기능을 제공하는 효율적이고 고정밀 장치입니다. 정해진 기능과 반복 가능한 정확도, 안정성 (stability) 을 만들어 내도록 설계되었으며, 이를 통해 탁월한 노출 및 정렬 결과를 얻을 수 있습니다.