판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 150 M #9149625

KARL SUSS / MICROTEC MA 150 M
ID: 9149625
웨이퍼 크기: 6"
Mask aligner, 6" Top side only No wafer cassettes One wafer at a time PC with solid state drive 15" Touchscreen 1000 Watt Lamp house UV400 Diffraction reducing optics 365nm / 405nm internal sensor SUSS CIC1000 Constant intensity power supply SUSS DVM 6 Dual video microscope 5x, 10X and 25X Objectives with turret SUSS AL300 Large gap alignment system Proximity, soft, hard and vacuum contact capable Pneumatic tubing throughout the machine Standard alignment chuck Standard maskholder.
KARL SUSS/MICROTEC MA 150 M은 마이크로 칩 제조에 사용되는 MICROTEC에서 개발 한 정밀 마스크 정렬 자입니다. 마이크로비아, 고저항 버스 (< 200nm), 플립 칩 (flip-chip) 조립 등 다양한 기능과 정렬을 생산할 수 있습니다. MICROTEC MA 150M은 정확도가 높은 특수 프로세스 요구 사항을 처리하도록 설계되었습니다. 이 설계에는 미세 정렬 및 반복 가능한 포지셔닝이 가능한 모터 구동 작업 필드와 정확한 위치를 표시하는 디지털 읽기 아웃 (Read-Out) 이 포함됩니다. 이 장치에는 최신 광학 프로젝션 장비 (Optical Projection Equipment) 와 정교한 탐지 시스템 (Detection System) 이 장착되어 정확성을 보장합니다. 이렇게 하면 "마이크로칩 '을 무늬 로 만들기 전 에" 마스크' 의 뒷면 및/또는 앞면 을 정밀 하게 맞출 수 있다. 이 시스템은 최대 6 인치 또는 150mm까지 자동 마스크를 수용 할 수 있으며, 허용 정확도는 ± 2m입니다. KARL SUSS MA-150M은 제작 시간이 짧고 쉽도록 설계되었습니다. 추가 프로세스 옵션으로는 오버레이 (overlay) 및 서브픽셀 배율 정렬 (sub-pixel magnification alignment) 및 다양한 재료 두께를 수용하는 프로그래밍 가능한 선형 Z축이 있습니다. 내장 레이저 간섭계는 최고 정렬 정확도와 반복 성을 유지하는 데 도움이됩니다. MA-150M의 고급 설계를 통해 PC 기반 그래픽 제어 센터 (Graphical Control Center) 를 활용하여 빠르고 쉽게 장치를 설치할 수 있습니다. 통합 카메라 시스템은 도량형 (Metrology) 에 대한 옵션과 자동화된 프로세스에 대한 비전 지원 (vision-assisted) 조정을 통해 정확한 수동 조정을 지원합니다. 이 기계는 또한 IP67 호환 보호 (ESD 보호 기능, 먼지 및 물 튀김 방지) 를 통해 견고성을 향상시킵니다. MA 150M은 산업 및 학술 연구 응용 프로그램 모두에 이상적입니다. 단순한 디지털 디자인에서 더 복잡한 디자인 (예: 3D 스태킹 장치) 에 이르기까지 모든 것을 만드는 데 탁월한 선택입니다. 이 장치는 구리, 금속, 공융, 폴리 이미 드, 실리콘 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 필요한 만큼 정밀하게 운영 요구 사항을 처리하도록 설계되었습니다.
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