판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 EL #293799117

KARL SUSS/MICROTEC MA-150EL은 반도체 제조 장비의 엘리트 리그에 속하는 정교한 마스크 정렬 자입니다. 이 기계 는 "포토리스토그래피 '공정 의 핵심 성분 으로서, 기판 으로" 포토마스크' 를 정밀 하고 정확 하게 정렬 할 수 있게 하여, 복잡 한 "패턴 '을 반도체" 웨이퍼' 로 옮기게 한다. 고성능 및 신뢰성으로 유명한 MICROTEC MA-150EL은 전 세계 연구실, 대학, 반도체 제작 시설에 선호되는 선택입니다. 코어에서 KARL SUSS MA-150 EL은 다양한 크기의 기판 및 마스크를 수용하도록 설계된 강력하고 다양한 플랫폼을 갖추고 있습니다. 이 장비는 정밀 정렬 단계 (Precision Alignment Stage), 노출 모듈 (Exposure Module) 및 정교한 제어 소프트웨어로 구성되어 있어 최적의 정렬 정확성을 보장합니다. 정렬 단계에는 마스크 및 기판의 미크론 레벨 정렬이 가능한 고해상도 x-y-z 스테이지가 장착되어 있습니다. 이것은 현대 반도체 제작의 엄격한 요구 사항을 달성하는 데 필수적인 뛰어난 패턴 해상도 (pattern resolution) 와 반복성 (repeatability) 으로 해석됩니다. KARL SUSS/MICROTEC MA-150 EL의 뛰어난 기능 중 하나는 고급 광학 시스템으로, 정확한 패턴 전송에 중요한 고품질 렌즈, 필터 및 조명기를 포함합니다. 이 기계는 조절 가능한 강도 및 노출 시간을 갖는 절연 된 UV 광원을 사용하여 전체 기판 표면에 균일 한 노출을 보장합니다. 또한 광학 장치 (optics unit) 를 사용하면 다양한 파장 필터를 사용할 수 있으므로 다른 포토리스 (photoresist) 재료 및 공정 요구사항과의 호환성이 가능합니다. KARL SUSS MA-150EL은 또한 설치 및 작업을 간소화하는 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스를 자랑합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 정렬 매개변수, 노출 설정, 프로세스 시퀀스를 쉽게 정의할 수 있으므로 초보자 (novice) 및 숙련된 연산자 (experience operator) 모두에 적합합니다. 또한, 이 기계는 조정 및 노출 과정에서 발생하는 모든 문제를 파악하고, 수정하고, 다운타임을 최소화하고, 생산성을 향상시키는 데 도움이 되는 실시간 모니터링/진단 도구를 제공합니다. 성능면에서 MICROTEC MA-150 EL은 뛰어난 오버레이 정확도로 고해상도 패턴을 제공하는 데 뛰어납니다. 이 기계는 서브 미크론 정렬 정밀도를 달성 할 수 있으므로 고급 집적 회로, MEMS 장치, 나노 구조 (nanostructure) 와 같은 최첨단 어플리케이션에 적합합니다. 뿐 만 아니라, 이 도구 는 "실리콘 웨이퍼 ', 유리 기판, 융통성 있는 고분자 재료 등 여러 가지 기판 을 처리 할 수 있는 유연성 을 제공 하여, 다양 한 연구 및 제조 필요 를 위한 다재다능 한 도구 가 된다. 결론적으로, MA-150 EL 마스크 정렬기는 사진 분석 장비 분야의 엔지니어링 우수성의 정점을 나타냅니다. 이 기계는 정밀 정렬 기능, 고급 광학 자산, 사용자 친화적 인터페이스, 고성능 기능을 통해 반도체 제작의 탁월한 패턴화 (patterning) 와 정렬 (alignment) 을 실현하는 표준을 설정합니다. MA-150EL 은 학술 연구 (academic research) 나 산업 생산 (industrial production) 환경에서 사용되든, 차세대 반도체 장치와 기술을 실현하기 위한 안정적이고 필수불가결한 도구임이 입증되었습니다.