판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 EL #293593231
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KARL SUSS/MICROTEC MA-150 EL Mask Aligner는 마스크 상의 뛰어난 해상도와 정확한 패턴 배치를 제공하는 자동화된 고속 정렬 및 노출 장비입니다. 이 시스템은 고유하지 않은 낮은 왜곡, 와이드 필드 (wide field), 줌 (zoom) 기능, 고해상도 및 반복 기능 등의 기능으로 마스크 패턴 전송을 위해 설계되었습니다. MICROTEC MA150EL (MICROTEC MA150EL) 은 다양한 정렬 유형과 사전 설정 옵션을 제공하여 다양한 어플리케이션과 마스크 크기를 수용할 수 있습니다. KARL SUSS MA 150EL은 기판 정렬 공차 (최대 0.05um) 와 등록 공차 (0.3um 미만) 를 통해 높은 정확성과 반복성을 제공합니다. 고속 이동이 가능한 3 축 스테이지가 장착되어 있으며 스테퍼 모터 구동 렌즈 (stepper motor-driven lens) 장치를 사용하여 정확하고 반복 가능한 정렬을 제공합니다. 이 정렬 기계에는 5 위치 정렬 헤드가 있는 디지털 카메라, 디스플레이 및 Control Station이 통합되어 있습니다. 디지털 카메라 (digital camera) 를 사용하면 노출 전에 기판 또는 마스크의 이미지를 보고 정렬 비교를 수행할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA 150EL Mask Aligner는 긴 수명, 안전한 저장 제논 아크 램프 및 노출 시간을 정확하게 제어하기 위해 기계적으로 구동되는 셔터를 갖추고 있습니다. 또한 최대 6 "x 6" 크기의 평평하거나 단단한 마스크를 수용하는 자동 마스크 및 기판 변경 도구를 갖추고 있습니다. Mask Aligner는 정확한 마스킹을 위해 호환 가능한 소프트웨어를 사용합니다. 이 소프트웨어는 패턴, 입력 매개변수, 비교 데이터를 저장할 수도 있으며, 정렬 및 노출 과정에서 사용자의 상호 작용을 최소화할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA 150 EL Mask Aligner는 정확하고 반복 가능하며 정확한 칩 패턴화를 위해 설계된 일체형 자동 도구입니다. 다양한 정밀 패턴화 (precision patterning) 애플리케이션에 사용할 수 있으며, 최적의 수익률과 정확한 성능을 제공할 수 있습니다. 효율적이고 신뢰할 수 있는 기술과 자동화 기능을 통해, 사용자는 빠르고, 정확하고, 경제적으로 프로토 타입을 만들고, 최고 해상도의 장치를 제조할 수 있습니다.
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