판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9394343

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC Mask Aligner는 마이크로 전기 및 기계 부품 제조에 사용되는 다용도 및 신뢰할 수있는 도구입니다. 미크론 이하의 정밀도 (sub-micron accuracy) 로 임계 정렬을 달성하여 미세한 기능을 가진 컴포넌트를 제조하는 데 적합합니다. MICROTEC MA150CC (MICROTEC MA150CC) 는 완벽하고 자동화된 사용자 친화적인 장비로, 우수하고 반복 가능한 성능을 제공하여 고수율 (High Yield) 의 미세 지오메트리 생산에 뛰어난 비용 효율성을 제공합니다. KARL SUSS MA 150CC는 특수 스테퍼 모터 변환 단계를 사용하여 타일 마스크를 2 개의 직교 축으로 정확하게 이동합니다. 이 메커니즘은 매우 정밀한 반복 가능한 포지셔닝 제어를 위한 정밀 펄스 인코더 (precision pulse encoder) 를 기반으로 하는 고속 포지셔닝 시스템에 의해 구동됩니다. 스테이지는 제어 장치 (Control Unit) 와 더욱 통합되어 마스크를 신속하게 로드하고 언로드할 수 있도록 합니다. 마스크 로드 및 언로드는 기계 전면에 위치한 원 푸시 오토 마톤 (One-push automaton) 에 의해 촉진됩니다. "마스크 '크기 에 따라 적재력 을 조정 하여 매우 작고 섬세한" 마스크' 를 정확 하게 배치 할 수 있다. 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 에는 자동 초점 장치 (Autofocus Machine) 가 내장되어 있어 정렬 수행 시 최고 수준의 정확도에 도달 할 수 있습니다. 광학 도구는 긴 심도의 필드 오브젝티브 렌즈 (field objective lens) 및 반전 기울기 단계 (reverse tilt stages) 를 사용하여 마스크의 정렬 표시에 존재하는 높이 변형에 관계없이 가장 잘 초점을 맞춥니다. 이 기능은 마스크에 에피-조명 (epi-illumination) 이 필요한 부품이 있더라도 초점 깊이가 좋습니다. 또한, 자동 초점 기능을 수동으로 재정의 (overridden) 하거나 완전히 비활성화하여 최대의 유연성을 제공할 수 있습니다. 아날로그 광학 스테퍼 셔터 기술 (Analog optical stepper shutter technology) 은 마스크의 정렬 표시를 photodiodes에 노출시키는 데 사용되며, 이를 통해 에셋이 표준 6um X 6um 그리드에서 정렬 표시를 감지하고 측정 할 수 있습니다. 또한 "셔터 '의 기계적 인 움직임 이 필요 치 않기 때문 에" 마스크' 를 빨리 노출 시킬 수 있다. 거리 (distance) 에 초점을 맞추는 마스크를 조정할 수 있으므로 사용자가 필요에 따라 다른 노출 (exposure) 과 정렬 (alignment) 정확도를 얻을 수 있습니다. MA 150 CC에는 마스크에서 발견 된 회전 정렬 마크 또는 슬라이더를 25nm로 줄이는 데 사용되는 마이크로 포지셔너 (micro-positioner) 도 있습니다. 이 마이크로 포지셔너 (micro-positioner) 는 마스크가 얼마나 많이 노출되는지를 대폭 제어하며, 보다 정확한 정렬을 위해 마스크의 위치를 세밀하게 조정하는 데 사용될 수 있습니다. MA-150CC 마스크 정렬기 (MA-150CC mask aligner) 는 마이크로 스케일 컴포넌트를 정렬하기 위한 뛰어난 정확성과 제어 기능을 제공하는 진정한 다용도 도구입니다. 사용자 친화적이며, 높은 수율로 미세 지오메트리 (Fine Geometry) 를 생산하는 데 탁월한 비용 효율성을 제공합니다.