판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9299824
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ID: 9299824
빈티지: 1999
Mask aligner
Top side microscope
Top side alignment
Proximity mask holder: 7 x 7"
CIC 1200 Power supply
Lamp house: 1000 W
UV 400 Optics
HITACHI Monitor, 14"
Chuck, 6"
XRS Pre-aligner
Auto alignment option
1999 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC는 다양한 photolithography 응용 분야에 사용되는 렌즈 접촉 유형 마스크 aligner입니다. 높은 처리량과 정확성, 그리고 상세한 프로세스 제어를 제공합니다. MICROTEC MA150CC는 정밀 정렬 및 노출 유연성을 갖춘 마이크로 및 나노 장치 제조를 허용하도록 설계되었습니다. 이 마스크 정렬 자의 작동 면적은 150mm x 150mm이며 프로토 타입, 대용량 생산 및 R & D에 이상적입니다. 고강도 광원, 맥시 스트링거 (maxi-stringer) 정확도 및 정렬 오류 보정이 있으며 다양한 웨이퍼 크기와 기판을 수용 할 수 있습니다. KARL SUSS MA 150CC는 1.5 미크론의 반복 가능성으로 정렬 정확성을 보장하는 활성 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 자동 정렬 기능에는 1 점 및 2 점 측정 정렬이 모두 포함되며, 수치 조리개가 0.45 인 3 초에서 61 초까지 기능을 이미지화하는 데 사용할 수 있습니다. 이 마스크 정렬기에는 여러 가지 공정 제어 기능이 장착되어 있어 인쇄 정확도가 우수합니다. 여기에는 오픈 루프 PID 시스템, 실시간 모니터링 및 피드백, 정확한 오버 드라이브 제어가 포함됩니다. 고품질 리소그래피를 보장하기 위해 KARL SUSS MA 150 CC에는 통합 웨이퍼 처리 시스템 및 레시피 기반 자동 노출 최적화가 있습니다. 마지막으로, 마스크 정렬기는 웨이퍼를 정렬하고 노출시키는 프로세스를 단순화하도록 설계되었습니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 강력한, 통합된 데이터 관리, 분석 툴이 함께 제공됩니다. 또한 고속 (High Speed) 옵션을 통해 처리량을 늘리고 총 처리 시간을 줄일 수 있습니다. MICROTEC MA 150 CC 마스크 정렬기 (CC Mask Aligner) 는 광범위한 사진 분석 응용 프로그램을 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션으로, 탁월한 정확성과 프로세스 제어를 제공합니다. 빈번하고 정확한 정렬, 정확한 노출, 높은 처리량을 필요로 하는 고객에게 적합합니다.
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