판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9250077

KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC
ID: 9250077
웨이퍼 크기: 6"
Mask aligner, 6".
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC는 대규모 마이크로 전자 장치를 처리하도록 설계된 정교하고 사용자 친화적 인 마스크 정렬 자입니다. 정밀 정렬, 정확한 노출, 안전한 전송을 가능하게 하는 다양한 고급, 직관적인 기능을 갖추고 있습니다. MA-150 은 대부분의 반도체 디바이스를 처리하기 위한 간단한 워크플로우 (workflow) 와 자동 정렬 및 노출 기능을 제공합니다. "고해상도 광학 현미경 '을 탑재해 불리한 마스크 패턴까지 쉽게 맞출 수 있다. 또한, 확장 기능이 내장되어 있어 확장성이 안정적이므로 작은 구성 요소와 메모리 (memory) 장치를 완벽하게 조정할 수 있습니다. MA-150의 노출 장비는 최고 150 x 150mm 기판 노출을 지원하는 뛰어난 이미징 기능을 제공합니다. 대형 기판의 균일 한 조명을위한 펄스 발전기 (pulse generator) 가 내장 된, 심지어 정확한 노출을위한 뛰어난 안정화 기술을 제공합니다. 노출 시스템은 노출 전 베이크 (pre-exposure bake) 및 노출 후 베이크를 지원하며 가변 속도, 추적 노출 및 가변 강도를 제공하여 이미지 품질이 우수합니다. MA-150의 마스크 전송 프로세스는 안정적이고 안전합니다. '자동 마스크 잠금 장치 (Automated Mask Lock-up Unit)' 가 내장되어 있어 '마스크' 가 전송되는 동안 안전하게 연결되어 있으므로 잘못된 배치 가능성을 제거하고 정확한 위치가 보장됩니다. 또한, 마스크 로케이터 (Mask Locator) 는 고속 카메라를 사용하여 마스크를 정렬 현미경에 정확하게 배치하여 잘못 정렬 할 가능성을 제거합니다. MA-150의 고급 기능에는 효율적인 기판 처리를 위한 내장 로봇이 포함되어 있습니다. "로봇 '은 노출 기계 에 기판 을 신속 하고, 정확 하고, 안전 하게 배치 할 수 있으며, 수동 적재 를 필요 로 하지 않는다. 또한, 고급 프로세스 제어 도구 (Advanced Process Control Tool) 를 사용하여 중앙 위치에서 모든 작업을 관리, 모니터링, 모니터링할 수 있으므로 장치를 쉽게 제어할 수 있습니다. 전반적으로 MICROTEC MA150CC는 정교한 마스크 정렬 기이며, 대규모 마이크로 전자 장치의 정밀 정렬 및 안전한 전송에 이상적입니다. 고급 기능의 배열 (Array of Advanced Feature) 을 통해 쉽게 관리, 모니터링, 제어할 수 있으며, 대형 기판을 정확하게 처리할 수 있어 다양한 운영 라인에 적합합니다.
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