판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9249160

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC Mask Aligner는 웨이퍼 표면에서 서브 미크론 기능 및 구조를 생산하는 데 적합한 고효율적이고 정확하며 강력한 석판 시스템입니다. 전기적으로 하전된 전자의 빔을 사용하여, 정렬 자 (aligner) 는 정확도와 해상도가 높은 반 도체 층 (semi-conductor layer) 을 정확하게 배치, 중심 및 노출 할 수 있습니다. 알리너 (aligner) 는 처리 중 웨이퍼 (wafer) 를 안전하게 보관 및 정렬하는 로딩 메커니즘과 최적의 석판화 프로세스를 위해 미세 조정이 가능한 프로세스 제어 모듈 (process control module) 을 갖추고 있습니다. MICROTEC MA150CC 정렬기는 뛰어난 에너지 차폐로 인해 접촉 사진 촬영 (Contact Photolithography) 및 깊은 UV 투영 (Deep UV Projection) 을 포함한 다양한 공통 및 전문 프로세스를 지원합니다. 또한 KARL SUSS MA 150CC는 X, Y 및 Z 방향에서 최대 25mm의 수동 스테퍼 이동 거리와 1µm의 스텝 해상도를 허용하여 대규모 생산을 가능하게합니다. 또한 정렬 (aligner) 에는 웨이퍼 패턴의 이미지를 캡처하고 들어오는 각 웨이퍼의 수정 및 정렬에 대한 피드백을 제공하는 정렬 및 등록 카메라가 포함되어 있습니다. 또한, MICROTEC 독점 스마트 프로세스 레시피 소프트웨어를 사용하면 20 개 이상의 처리 매개변수를 안정적이고 효율적으로 정렬 할 수 있습니다. 고정밀 성능을 위해 MA150CC Aligner에는 솔리드 스테이트 셔터, 액티브 열 제어 및 고용량 스토리지가 장착되어 있습니다. "셔터 '는 섬세 한" 필름' 수지 의 필요성 을 제거 하면서 "패턴 '을 선명 하게 정렬 한다. 또한, 정렬 자 (aligner) 는 생산 전반에 걸쳐 일관된 온도를 촉진하는 활성 열 제어 시스템을 특징으로합니다. 이는 장기적인 패턴 정렬 안정성과 우수한 결과를 보장합니다. 마지막으로, MICROTEC MA-150 CC의 고용량 스토리지는 주 전원이 정지된 경우에도 중요한 매개변수와 제어 설정을 유지합니다. 간단히 말해, MICROTEC MA-150CC Mask Aligner는 낮은 왜곡, 고정밀 웨이퍼 패턴 및 구조를 생산하기위한 최상위 시스템입니다.