판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9229272

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ID: 9229272
Mask aligner Power supply: CIC 1200 PC Type: DSM-P233 MMX Relay interlock box TSA camera: XC-50 TSA objectives: 5 x / 0.15, 10 x / 0.30, 20 x / 0.40 BSK microscope: 520R Rechts / Right BSA-Camera 264537 Rechts / Right Cognex 5000 Power meter Exposure optics: UV 400 Prealigner Prealigner sensor head: SI / GAAS / INP Mask holder Chuck Main microcontroller: Input card: 260PC105-05 Input card: 260PC113-01 D/A Cov DVM²: 260PC102-05 Parallel input / Output exp BSA: 260PC103-03 Valve driver: 260PCPC103-01 Funnel prealigner: 260PC129-02 Manipulators: 260PC116-01 D/A Conv DVM BSA: 260PC102-05 Motor driver DVM²: 260PC109-02 Elevator right: 260PC119-01 Elevator left: 260PC119-01 Microscope x-motor: 260PC119-03 Mask x-motor: 260PC156-04 Microscope y-motor: 260PC119-03 Mask y-motor: 260PC156-04 Microscope motor: 260PC119-03 Mask motor: 260PC156-04 Z-Axis: 260PC119-03 Wafer transfer: 260PC126-03 4 Channels A/D card MOM: 260PC176-03 CPU MOM: 260PC105-16 Stage driver MOM: 260PC168-06 Valve driver 3CB: 260PC104-01 Power supply standard: 260PC124-02 Power: 230 V Lamp: 350 Watt bulb 2002 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC는 반도체 칩, 센서 및 나노 전기 기계 시스템 (NEMS) 과 같은 나노 구조 또는 미세 구성 장치의 제조에 사용되는 고정밀 마스크 정렬 자입니다. "알리너 '는 서로 다른" 마스크' 를 한 "나노미터 '의 정확도 로 정렬 할 수 있다. 정밀도가 높은 단계와 결합된 근거리 광학 장비 (near-field optical equipment) 를 활용하여 매우 정확한 정렬을 달성합니다. 이 시스템은 또한 연속적으로 여러 마스크를 정렬할 수 있습니다. MICROTEC MA150CC (MICROTEC MA150CC) 는 다양한 기능을 제공하여 각 신형 디바이스가 정확하게 배치되고 석판화 처리 준비가 되어 있는지 확인합니다. 이 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 장치의 사용자 정의 가능한 정렬 작업 공간, 축 (On-axis) 수정 알고리즘 및 자동 웨이퍼 스캐닝을 사용하여 장치 정확도를 높일 수 있는 탁월한 수준의 정밀도 및 반복성을 제공합니다. 또한, 시스템은 의도하지 않은 웨이퍼 (wafer) 를 잘못 정렬하여 사용자가 전체 프로세스를 중지하지 않고도 수정할 수 있습니다. KARL SUSS MA 150CC 도구에는 가변 조리개 제어 (variable aperture control) 가 장착되어 있어 석판 처리 중에 원하는 영역만 노출되도록 합니다. 자동화된 광 중심 (optical centering) 기능은 수동 조정의 필요성을 최소화하는 반면, 정확한 스테이지 동작 제어는 스테이지 동작이 정확하고 반복 가능하도록 보장합니다. 또한, 고급 온도 조절 챔버는 리소그래피 절차 중 온도 안정성을 보장합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA150CC는 뛰어난 정렬 성능 외에도 대용량 생산 프로세스에 유용한 솔루션입니다. 이 자산은 여러 개의 웨이퍼 (wafer) 를 동시에 처리할 수 있으므로 처리량을 극대화하고 공간을 최소화할 수 있습니다. 또한 Deep UV, IC Scope 및 Step & Scan을 포함한 다양한 고급 사진 분석 프로세스를 지원합니다. 전반적으로 KARL SUSS MA-150 CC는 강력한 정밀도 마스크 정렬기로, 나노 구조 및 마이크로 구성 장치의 제작에 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. On-axis Correction, Automated Wafer Scanning, Variable Aperture Control 등의 기능을 갖춘 이 모델은 대용량 생산 프로세스를 위한 최적의 솔루션을 제공합니다.
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