판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9105740

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC Mask Aligner는 예술 자동 사진 분석 도구의 상태입니다. 복잡한 형상이 있는 소형 장치를 처리하는 데 이상적입니다. 특히 MICROTEC MA150CC는 1mm - 150mm 크기의 장치에 적합합니다. 자동 도구 교정, 반복 가능한 정렬 정확도, 고화질 이미징 (High Definition Imaging) 과 같은 기능은 직경이 0.75 인치에서 6 인치까지 다양한 웨이퍼에서 미세 선 광사진을 생산하는 데 이상적입니다. KARL SUSS MA 150CC는 광원, 웨이퍼 챔버, 스테퍼 모터, 정밀 광학 및 기계 부품을 포함한 통합 플랫폼으로 구성됩니다. 광원은 광전자를 노출시키는 데 필요한 UV 방사선을 생성합니다. 여기에는 고출력 출력을위한 통합 수은 아크 램프 (수은 아크 램프) 와 시각적 점검을위한 백열등 (백열등) 이 포함되어 있습니다. 웨이퍼 챔버 (wafer chamber) 는 100mm 게이트 및 Langmuir-Blodgett 필름 증착이있는 정밀 쿼츠 챔버로 웨이퍼의 균일 한 코팅을 허용합니다. 또한, 챔버에는 대기 조절을위한 통풍구가 장착되어 있습니다. 스테퍼 모터는 정확한 미세한 위치 정밀도를 제공하도록 설계되어 임계 치수 (critical dimension misalignment) 를 최소화합니다. 스테퍼는 1mm 회전 점 정확도로 설계되었으며, 이는 포토 esist의 노출에 중요합니다. 또한, 이 고급 장비에는 마스크 및 기판을 정확하게 정렬하기 위한 통합 정렬 (integrated alignment) 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 또한 노출 중 정밀도를 유지하기 위해 정렬 모니터링 장치 (Alignment Monitoring Unit) 를 포함합니다. 또한 MICROTEC MA-150CC는 0.25 미크론 미만의 해상도로 고화질 이미징을 제공합니다. 이는 가장 중요한 디바이스 수준에서 탁월한 이미징 및 패턴 정의를 제공합니다. KARL SUSS MA-150CC는 또한 고급 로봇 자동화 기능을 갖추고 있으며, 노출 챔버 안팎으로 웨이퍼를 화면, 정렬 및 전송 할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 빠른 전환 (changeover) 을 허용하여 일관된 수준의 품질과 성능을 제공합니다. 전반적으로 MICROTEC MA-150 CC Mask Aligner는 뛰어난 성능을 제공하는 고급 사진 분석 도구입니다. 이 제품은 다양한 기판에서 고화질 (High Definition) 과 미세 선 (Fine Line) 포토리스트를 생산하는 데 적합하며, 통합 자동화 머신은 일관된 수준의 품질과 성능을 제공합니다. 기계 는 직경 이 0.75 "인치 '내지 6" 인치' 에 이르는 "웨이퍼 '를 처리 할 수 있으며, 0.25" 미크론' 까지의 해상도 로 뛰어난 정확도 와 정밀도 를 제공 한다. 이러한 모든 기능을 통해 KARL SUSS MA150CC는 복잡한 형상이있는 복잡한 장치를 생산하는 데 적합합니다.