판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC BSA #9171250
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ID: 9171250
Mask aligner
Top side and back side alignment
Cassette to cassette
Lamphouse: 350 watts or 1000 watts
Used with 2" InP substrates
Non contact prealigner
Currently installed and warehoused.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC BSA는 microfricated device 생산 및 일상적인 정렬 작업 모두에서 정확도, 효율성 및 정밀도를 위해 설계된 마스크 정렬기입니다. 이 도구는 다양한 기능을 제공하여 매우 정밀한 제어, 유연성을 제공합니다. MICROTEC MA-150 CC BSA는 최대 350nm 해상도의 이미지를 캡처 할 수있는 고급 광학 장비를 갖추고 있습니다. 이를 통해 기판 재료에 포토 마스크 패턴 (photomask pattern) 을 정확하게 배치하고, 프로세스 중에 포토 마스크 (photomask) 를 보고, 정렬하고, 측정할 수 있습니다. 광학 시스템에는 10 배의 오브젝티브 렌즈, 5 배의 줌 렌즈 및 대형 시청 화면이 포함됩니다. KARL SUSS MA-150 CC BSA는 또한 여러 가지 고급 기능을 제공하여 정렬 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 수동 (manual) 모드와 자동 (automatic) 모드 모두에서 작동하여 정렬 매개변수를 특정 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 도구에는 수동으로 정렬하기 어려운 피쳐를 정확하게 정렬하기 위한 이미징 장치 (Image Unit) 도 포함되어 있습니다. 또한 정렬 프로세스를 정확하게 제어하기 위해 추적 (tracking) 과 안정화 (stabilization) 를 갖춘 고급 모터 머신이 특징입니다. 사용 편의성과 편의성을 위해 MA-150에는 자동 CAD 및 기타 CAD 응용 프로그램에 대한 완벽한 지원, 대화식 그래픽 사용자 인터페이스 (Interactive Graphical User Interface) 등, 정렬 응용 프로그램을 만들기 위한 최신 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 이 도구는 또한 전체 측정 소프트웨어 (full suite of measurement software) 및 프로세스 내 분석을위한 후면 카메라 (rear camera) 를 포함한 다양한 검사 및 분석 도구를 제공합니다. 대규모 (large) 및 소형 (small) 컴포넌트 정렬을 모두 처리할 수 있으며, 거의 모든 애플리케이션의 요구를 충족할 수 있는 다양한 조정 범위가 제공됩니다. 전반적으로 MA-150 CC BSA는 기판에 포토 마스크 (photomask) 를 정밀하게 정렬하기위한 고급적이고 유연한 도구를 제공합니다. 다양한 고급 기능과 소프트웨어 (Software) 패키지를 갖춘 이 툴은 마이크로패브라이케이션 (Microfabrication) 의 거의 모든 애플리케이션에 적합하므로, 다양한 마이크로패치드 (Microfricated) 장치를 생산할 때 효율적이고 정확한 작동이 가능합니다.
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