판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 14 #9281941

KARL SUSS/MICROTEC MA 14는 반도체 산업에서 사용되는 전체 기능의 반자동 마스크 정렬 자입니다. MICROTEC MA 14는 정확한 픽셀 레벨 등록에 따라 photomask를 photoresist 코팅 된 웨이퍼에 정렬하도록 설계되었습니다. 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 사이의 정확한 상대 동작을 용이하게하기 위해 지속적으로 조절 가능한 x-y 스테이지가 특징입니다. KARL SUSS MA 14는 이중 광학 시스템을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 복합 원격 중심 이미지를 생성합니다. 이 이미지는 마스크와 웨이퍼 (wafer) 사이의 정렬을 평가하기 위한 참조로 사용됩니다. 통합 레이저 크로스헤어 모듈을 사용하여 데이텀 참조점을 설정합니다. 이렇게 하면 마스크와 웨이퍼 간에 반복 가능한 정확한 정렬이 가능합니다. MA 14는 또한 자동 루틴 정렬을 위해 2 차원 카메라 시스템을 사용합니다. 자동 정렬은 출력 이미지에서 감지되는 스테이지 패턴 (stage pattern) 을 도입하여 수행됩니다. "오오토포커스 '는" 마스크' 와 "웨이퍼 '사이 의 거리 를 정확 하게 조정 할 수 있다. 또한 소프트 터치 (soft touch) 기능을 사용하여 정렬을 수행할 수 있습니다. 이렇게 하면 다른 정렬 요소를 교란시키지 않고 정렬 표시의 상대 위치를 조정할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA 14에는 디지털 디스플레이가있는 사용자 친화적 인 키패드도 포함되어 있습니다. 각 정렬에 필요한 매개변수에 대한 최신 요약이 표시됩니다. 또한 사용자 친화적 키패드 (user-friendly kypad) 를 사용하면 정렬 프로세스를 처리하기 위해 정렬기에 명령을 쉽게 입력할 수 있습니다. 마이크로텍 MA 14 (MICROTEC MA 14) 는 고정밀도 마크와 레이블을 제공할 뿐만 아니라 웨이퍼 기능 측정 및 특성을 용이하게하는 다양한 측정 모드도 포함하는 다재다능한 정렬기입니다. 여기에는 오버레이 분석, 거리 측정, 피쳐 위치 및 특성화에 대한 격자 검색이 포함됩니다. KARL SUSS MA 14는 웨이퍼 제조 응용 프로그램을위한 완벽한 업계 수준의 조정자입니다. 다양하고 다양한 기능과 기능을 통해 photoresist 코팅 된 웨이퍼에 대한 photomask를 정확하고 정확하게 정렬 할 수 있습니다. MA 14는 안정적이고, 반복적이며, 정확한 정렬을 제공하여 고품질 웨이퍼 생산을 보장합니다.