판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 14 #293608020

ID: 293608020
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 14는 반도체 제조 프로세스에 사용되는 고급 반자동 마스크 정렬 자입니다. 그것 은 "포토마스크 '와" 기판' 의 정밀 정렬 에 사용 되며, 그것 은 장치 제조 에 있어서 매우 중요 한 장비 가 된다. MICROTEC MA 14는 350mm x 350mm 정렬 면적과 1000 만 픽셀 CCD 카메라가있는 현미경 스테이지와 최대 500nm 해상도의 정확하고 정확한 정렬 기능을 제공하는 마이크로 미터 스테이지입니다. 이것은 기판의 매우 작은 피쳐를 에칭하고, 제조 결함을 제거하고, 주기 시간을 단축시키는 데 매우 효과적입니다. KARL SUSS MA 14는 프로그래밍이 가능하며 정렬점, 정렬 창, 다중점 정렬, 하위 픽셀 정렬 등 4가지 자동 정렬 모드를 제공하므로 설정을 특정 요구에 맞게 조정하고 원하는 결과를 빠르고 정확하게 달성할 수 있습니다. MA 14에는 빔 펜 (beam pen) 기능이 있어 현미경을 사용하지 않고 정렬 표시를 수동으로 조작할 수 있습니다. KARL SUSS/MICROTEC MA 14는 또한 완전 자동 노출 시스템을 갖추고 있으므로 처리 시간이 빠르고 운영자의 개입이 적습니다. 또한 MICROTEC MA 14는 운영자의 오류 및 프로그래밍 실수로부터 연산자를 보호하는 다양한 보안 기능과 진단 기능을 제공합니다. 여기에는 공구 체크 및 공차 부족 (out-of-tolerance), 정렬 실패 경고 시스템 및 인터 록과 같은 기계 안전 기능이 포함됩니다. KARL SUSS MA 14에는 통합 프로세스 모니터링 (integrated process monitoring) 기능도 있습니다. 이 기능은 프로세스 성능을 평가하고 프로세스 변형을 줄여 제조 공정의 오류 또는 약점으로 이어질 수 있습니다. 전반적으로, MA 14는 반도체 및 전자 장치 제조 산업에서 귀중한 도구이며, 극도의 정확성, 빠른 주기 시간, 향상된 안전 기능을 제공하여 복잡한 부품과 장치의 생산에 이상적입니다.
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