판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9389780

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E 마스크 정렬기는 광석판 촬영, 반도체 광전자, 광학 등 다양한 용도로 설계된 고정밀 비용 효율적인 장치입니다. "마스크 '를 기판에 맞추고 노출시키는 작업을 자동화하는 한편, 정교한 소프트웨어와 하드웨어 기능을 사용한다. MICROTEC MA100E에는 진공 척 (vacuum chuck) 이 장착되어 기판을 안전하게 고정하고 2 축의 고정밀 스테이지가 장착되어 있습니다. 최대 분해능은 10 µm이며 반복성은 5 äm입니다. KARL SUSS MA 100 E는 강렬한 UV 할로겐 램프로 제작되었으며, 이 램프는 최대 3 유로의 기능을 제공합니다. 내장형 카메라 기반 자동 정렬 시스템은 이미지 기반 정렬 마크를 사용할 수 있는 반면, 내장형 통합 센서는 고밀도, 고속 정렬 (high-precision, high-speed alignment) 교정을 수행할 수 있습니다. 이 장치는 또한 자동 포커스 검출 (focus detect) 을 제공하고, 반복 가능한 결과를 보장하며, 고밀도 포토리토그래피 응용프로그램 (photolithography application) 에 대한 비결정 기능 해상도와 정확도를 제공합니다. 통합 XY 스테이지는 최대 100mm의 마스크 및 기판 크기를 허용합니다. 이 스테이지에는 0.5 "m '의 개방형 루프 반복성을 갖춘 견고한 저진동 산업 등급 선형 모터 드라이브 시스템이 통합되어 있습니다. 정밀 정렬과 최적화된 스테이지 속도를 위해 느리고 빠른 모터 속도 (slow and fast motor speed) 를 각각 설정할 수 있습니다. 고속 모터 속도는 최대 200mm/s, 느린 모터 속도는 최대 1mm/s로 설정할 수 있습니다. KARL SUSS MA 100E는 또한 광학, 유동성 및 전기 피드 스루 (feed-throughs) 를 특징으로하며, 최소 오염으로 포토 esist를 전송하고, 글로벌 기판 운동 오류를 제거하기위한 닫힌 루프 크로스 토크 보상을 제공합니다. MA 100E에는 인체 공학적 운영 콘솔 (ergonomic operations console) 이 장착되어 있어 간단한 키패드 인터페이스로 장치를 제어할 수 있습니다. 화면 디스플레이는 사용 편의성을 보장하는 반면, 진단 도구 (diagnostic tools) 는 신속한 문제 해결 및 문제 해결을 지원합니다. KARL SUSS/MICROTEC MA100E는 실리콘 웨이퍼, 쿼츠, 니오베이트 리튬, 폴리 미드, 세라믹 등 다양한 기판의 정렬, 노출 및 접촉 프로세스를 자동화하는 다양한 고급 기능으로 프로그래밍됩니다. 자동 정리 (automatic cleanup) 기능을 사용하면 잔류 (residual) 클리닝 솔루션을 효율적으로 제거할 수 있으므로 중요한 영역에 대한 접촉 시간이 줄어들고 마스크/기판 교환 시간이 빨라집니다. 마지막으로, 이 장치는 할로겐 안전 셔터 및 CE 인증 안전 클래스 1 스캔을 포함한 포괄적 인 안전 기능을 갖추고 있습니다. MA 100 E (MA 100 E) 는 프로그래밍 시간을 최소화하고, 불완전한 정렬로 인한 폐기물을 최소화하고, 광범위한 사진 촬영 및 광전자 (optoelectronics) 응용 프로그램의 정밀도와 처리량을 극대화하도록 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 마스크 정렬기입니다.