판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9358526

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E는 박막 장치의 웨이퍼 스테퍼 정렬에 사용되는 자동 마스크 정렬 자입니다. 18 인치 조절 가능한 베이스와 마스크 및 알루미늄 기판의 정밀한 정렬을위한 고급 정렬 장비를 갖추고 있습니다. MICROTEC MA100E (MICROTEC MA100E) 는 마스크 및 기판의 빠르고 자동화된 정렬을 통해 박막 처리 비용을 최대 1 미크론의 정확도로 줄이도록 설계되었습니다. KARL SUSS MA 100 E는 5 인치 마스크 트레이를 사용하여 한 번에 최대 20 개의 마스크를 저장합니다. 자동 마스크 관리 시스템은 트레이에서 마스크를 로드하고 검색하는 프로세스를 간소화합니다. 또한 "마스크 '용지함 에는 개폐식" 셔터' 가 장착 되어 있어 적절 한 "마스크 '배치 를 보장 하고 있다. 마스크 및 기판의 정렬은 전체 프로세스 전체에서 분할된 잠금을 사용하여 실행됩니다. 이 정렬 기법은 모든 수의 마스크 및 기판에 대해 높은 정밀도와 반복성 (repeatability) 을 보장합니다. 가면 정렬 시스템 외에도, KARL SUSS MA 100E에는 마스크 트레이의 수분 함량을 줄이기 위해 사용되는 질소 퍼지 장치 (nitrogen purge unit) 가 장착되어 있습니다. 이것은 습기가 잘못된 정렬을 일으킬 수 있으므로 일관된 정렬 품질을 보장합니다. 퍼지 머신 (purge machine) 은 습도를 제어하는 센서와 통합되어 최적의 습도 수준을 유지합니다. 마스크 트레이 이외에도 마이크로텍 (MICROTEC) MA 100E (MA 100E) 에는 마스크· 기판 포지셔닝이 유연해지는 테이블 플랫폼이 장착돼 있다. 이 표에서는 기판과 마스크를 빠르고 쉽게 재배치하고, 시간을 절약하고, 정확도를 높일 수 있습니다. MA100E는 박막 장치의 웨이퍼 스테퍼 정렬에 적합한 선택입니다. 고급 정렬 도구, 질소 제거 자산, 자동 마스크 배치 등은 높은 정확성과 반복성을 보장합니다. 조정 가능한 베이스, 테이블 플랫폼, 개폐식 셔터 (Retactable Shutter) 를 사용하면 비용이 많이 드는 오류를 제거하여 유연하고 효율적인 프로세스를 수행할 수 있습니다.