판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9278360

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E는 반도체 웨이퍼에 고정밀 광석기 마스크 패턴을 쉽게 정렬 할 수 있도록 설계된 마스크 정렬기입니다. 장비는 매우 정확하며, 3 미크론 이하의 정밀도에 등록 할 수 있습니다. 또한, 마스크 정렬기는 40mm x 40mm 영역에서 정렬할 수 있으며, 마크의 가장자리가 3% 의 정확도 내에서 정렬될 정도로 정확합니다. MICROTEC MA100E는 XY 포지셔너를 통해 전동식 스테이지와 헤드를 구성하는 광학 시스템을 사용합니다. KARL SUSS MA 100 E의 헤드/XY 스테이지는 강력한 스테퍼 모터와 유리 인코더를 사용하여 XY 평면에서 5 나노 미터의 해상도를 허용합니다. 이를 통해 패턴 마스크를 사용하여 대상 기판을 정확하게 정렬할 수 있습니다. MA 100 E는 자동 패턴 스캐닝도 지원하며 Power Zoom optics 유닛을 4x 에서 16x 로 확대할 수 있습니다. 기계 는 "패턴 '의 세부점 을 정확 하게 맞추기 위하여 고해상도 에서 단일" 다이' 에서 최대 16 개 의 "레벨 '을 읽을 수 있다. 마이크로텍 (MICROTEC) MA 100E는 정확한 정렬 기능 외에도 반도체 제작을 보다 효율적으로 수행할 수 있도록 설계된 여러 가지 다른 기능도 제공합니다. 마스크 정렬기는 정전 타이밍 회로를 특징으로하여 노출을 정확하게 타이밍할 수 있습니다. KARL SUSS MA 100E는 또한 자동 셔터 (automatic shutter) 를 제공하여 오작동시 웨이퍼가 노출되지 않도록 할 수 있습니다. 마스크 정렬기에는 독립 히터와 통합 패턴 인식 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 전반적으로 KARL SUSS MA100E 마스크 정렬기는 반도체 기판으로 사진 식자술 마스크를 정렬하기위한 강력하고 정확한 도구입니다. 공구의 스테퍼 모터 및 유리 인코더를 사용하면 XY 평면에서 5 나노미터 해상도로 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 또한, MICROTEC MA 100 E에는 정전기 타이밍 회로, 자동 셔터 및 독립 히터와 같은 몇 가지 추가 기능이 포함되어 있으며, 반도체 생산 산업을위한 강력하고 다양한 도구입니다.