판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9278299

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E Mask Aligner는 micro-fabrication, nano-fabrication 및 microelectromechanical system (MEMS) 과 같은 다양한 마이크로 전자 응용 프로그램을 위해 설계된 하나의 사진 분석 시스템 중 하나입니다. 이 장치는 자동 시스템이며, 미크론 (micron) 과 나노 미터 (nanometer) 범위의 공간 해상도로 표면 피쳐를 패턴화할 수 있습니다. 대형 11.6 인치 터치스크린으로 GUI (Graphical User Interface) 를 쉽게 사용할 수 있어 Micropositioner 및 장치 매개변수를 제어할 수 있습니다. 컨트롤러에는 4 도의 자유도가 있으며, 높은 정확도 정렬 및 리소그래피가 가능합니다. "마스크 '홀더 의 광학" 시스템' 은 자동 초점 기능 을 가지고 있어서 "마스크 '와" 마스크' 사이 의 정확성 을 2 "미터 '이내 로 유지 한다. 광원은 최대 31000 mW/m2의 조명과 80% 이상의 조정 가능한 균일성을 가진 LED 어레이입니다. 광원은 다양한 응용 프로그램의 녹색, 파란색, 자외선 범위 등 다양한 파장을 제공합니다. 또한, 공구에는 노출을 추가로 제어하기 위해 가변 강도 제어가 있습니다. 리소그래피 스테이지는 직경이 최대 150mm 인 웨이퍼 또는 기판을 수용 할 수 있으며, 소형 기판을위한 2 인치 및 4 인치 어댑터가 있습니다. "얼라이언트 '와" 노우즈' 중 에 가장 높은 정확도 를 보장 하기 위하여 진공 "커킹 '장치 가 갖추어져 있다. 건조 및 수용성 저항에 노출 된 물질 트레이를 사용할 수 있습니다. 프로세스의 경과 시간은 전달된 실시간 타이머 (real-time timer) 의 도움으로 모니터링할 수 있습니다. 마지막으로, 이 장치는 또한 가장 높은 실행-실행 반복 가능성 1.5 "m '및 실행-실행 스티칭 정확도 0.5" m' 을 특징으로합니다. MICROTEC MA100E Mask Aligner의 강력한 구성, 유연성 및 정확성은 마이크로 및 나노 제작에서 가장 진보 된 응용 프로그램에도 이상적인 도구입니다.