판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9197137

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E는 고해상도 광석기 마이크로 제조 프로세스에 사용되는 완전 자동화 된 마스크 정렬 자입니다. 집적 회로, 센서, 액추에이터 및 기타 마이크로 일렉트로닉 부품의 제작에 적합합니다. MICROTEC MA100E 장비에는 통합 PC 기반 제어 장치와 자동 기판 및 레티클 로딩이 장착 된 광/기계 정렬 시스템이 포함됩니다. 레티클은 5 축 스테이지에 장착되며 정밀 정렬을 위해 디지털 마이크로미터 (digital micrometer) 를 사용합니다. 레티클 스테이지에는 수동 모드, 전체 회전 및 후퇴 옵션이 있습니다. 기판은 진공 척 (vacuum chuck) 에 보관되며 수동 또는 자동 기판 처리 장치를 사용하여 적재됩니다. 진공 척은 모터 구동이며 기판 오정을 최소화 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 통합 조명과 광학 현미경을 특징으로하는 아피트컬 뷰 (opitcal viewing) 및 이미지 감지 도구를 갖추고 있습니다. 이 광학 설정으로 1äm의 해상도를 달성 할 수 있습니다. KARL SUSS MA 100 E는 또한 5äm XY 이동 능력을 가진 6 또는 12 인치 진공 작동 기판 단계를 가지고 있습니다. 마스크 정렬 기 (Mask Aligner) 는 99.7% 의 광 투과 효율로 레티클에서 포토리스 스트 코팅 된 기판에 광 패턴을 투영 할 수있다. 고해상도 투영 광학 (High Resolution projection optics) 은 기판 전체에 확산 광 패터를 보장하여 매우 높은 수준의 측면 해상도, 정확한 등록 및 높은 명암으로 복잡한 구조를 형성 할 수 있습니다. MICROTEC MA 100 E는 광범위한 대기 분수와 진공 수준에서 작동 할 수 있으며, 높은 등각 코팅과 향상된 레이어 균일성을 제공합니다. 마스크 정렬기는 사용 된 재료에 따라 380 nm ~ 75 äm 범위의 다양한 정렬 정확도를 갖습니다. MA 100 E 는 직관적인 사용자 인터페이스와 정밀 설계 덕분에 사용이 간편하고 유지 관리가 용이합니다. 이것은 다양한 생산 공정에 쉽게 통합될 수 있어, 미세 사진술에 이상적인 도구 (micro-photolithography) 가 됩니다.