판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185938

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E는 마이크로 및 나노 생성 기법을 사용하여 집적 회로, 기능적 기계 구조 및 기타 3D 구조를 제작하는 데 사용되는 자외선 (UV) 광석판 마스크 정렬 자입니다. 이 장비는 사용 가능한 최고 정밀 UV 사진 촬영을 제공하며 작업 면적은 5 인치입니다. x 8 인치. 광범위한 산업 및 학술 응용 분야에 적합합니다. MICROTEC MA100E에는 2개의 540nm CW 레이저 광원 (6W 및 4W) 이 있습니다. 광학 전원 측정기는 정확한 전원 수준 설정을 보장합니다. 구성 요소는 안정성과 내구성을 위해 열 차폐 박스에 보관됩니다. 시스템은 또한 mm-resolution 마스크 플레이트와 관련하여 기판을 정확하게 배치하는 움직이는 단계를 가지고 있습니다. 3 축 동력 스테이지의 해상도는 0.1 um, 최대 속도는 2000 um/sec입니다. 이 장치에는 자동 마스크 등록, 저상수 기능 수차, 저열 드리프트, 고화질 이미지, 향상된 중첩 보정과 같은 몇 가지 유리한 기능이 있습니다. KARL SUSS MA 100 E에는 정확한 반복성을 위해 최대 8 단계의 프로그래밍을 제공하는 터치 패널이있는 HMI 제어 인터페이스가 장착되어 있습니다. 연산자는 노출 시간, 반복 수, 마스크 정렬, XY 정렬, 반복 정렬 등의 정렬 등의 매개 변수를 조정할 수 있습니다. KARL SUSS MA100E는 UV 포토 마스크를 사용하여 원형 빔 직경 6um으로 최대 256 개의 광선을 생성합니다. 기판에 이미지의 최대 투영량은 X 및 Y 축의 ± 5mm (최대 해상도 0.5um) 입니다. 기계는 정확한 패턴화를 위해 플라즈마 에칭을 할 수도 있습니다. 이 도구는 나노 미터 스케일 피쳐에서 마이크로 미터 스케일 피쳐까지 광범위한 구조를 생성 할 수 있습니다. 마지막으로, KARL SUSS/MICROTEC MA100E에는 보호 알루미늄 마스크가 장착되어 있으며, 이 마스크에는 민감한 물질에 손상을 줄 수있는 길 잃은 UV 빛이 차단됩니다. 자산에는 키 스위치, 모션 감지, UV 라이트 셔터 등 안전 기능도 있습니다. 요약하면, MICROTEC MA 100E는 자동 마스크 등록, 낮은 일정 기능 수차, 낮은 열 드리프트, 고해상도 이미지 및 향상된 중첩 보정과 같은 고급 기능을 갖춘 고급 UV 사진 촬영 마스크 정렬자입니다. 이 모델은 다양한 기판에 정확한 패턴을 만드는 데 적합합니다.