판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185937
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ID: 9185937
Mask aligner
Damaged parts:
Mercury lamp controller
Sensor
WEC
Currently installed.
KARL SUSS/MICROTEC MA 100E는 반도체 기판에 포토 마스크의 정확한 오버레이에 사용되는 마스크 정렬 자입니다. 이 기계에는 석영 할로겐 조명기, 컴퓨터 제어 이동 단계, 자동 정렬 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 석영 할로겐 조명기 (Quartz Halogen Illuminator) 는 높은 와트를 가지며, 이를 통해 정렬 과정에서 짝수 및 강도 프로파일이 가능합니다. 조명기 (Luminator) 는 또한 조정 가능한 강도 수준을 가지므로 조명을 쉽게 조정하여 원하는 효과를 생성합니다. 조명기 의 위치 를 원격으로 제어 할 수 있어서, 광선 의 정확 한 배치 와 각도 를 이용 할 수 있다. 그렇다. 이동 단계에는 동력 구동 장치가 있으며, X, Y 및 Z 축에서 최대 50mm/s의 속도로 움직일 수 있습니다. 따라서 photomask 및 기판을 동시에 정확하게 배치할 수 있습니다. 두 컴포넌트의 정렬을 위해 최대 +/-0.1 미크론 (micron) 의 공차를 사용하여 위치를 지정할 수 있습니다. 자동 정렬 컨트롤러는 기계의 두뇌입니다. 이렇게 하면 photomask 및 기판을 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 컨트롤러는 에지 감지 (edge detection), 자동 초점 정렬 (autofocus alignment) 및 다양한 다른 기능을 사용하여 정렬 프로세스의 정밀도를 보장합니다. 또한 복잡한 정렬 프로세스를 설계, 제어할 수 있도록 컴퓨터에 연결되어 있습니다. MICROTEC MA100E (MICROTEC MA100E) 는 가장 복잡한 포토마스크 구조조차 정확하게 정렬할 수 있는 뛰어난 성능과 능력으로 잘 알려져 있습니다. 서브 미크론 오버레이 정확도가 가능하며 인상적인 수명이 있습니다. 그 에 더하여, 기계 는 사용 하고 유지 하기 쉽기 때문 에 "반도체 '산업 에서 인기 있는 선택 이다.
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