판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185936

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E는 다양한 photolithography 응용 프로그램을위한 넓은 작업 영역을 가진 고급 마스크 정렬 자입니다. 최대 150 x 150mm의 대용량 작업 영역과 프로그래밍 가능한 제어 초점 및 빔 파워 (beam power) 를 갖춘 MICROTEC MA100E는 매우 정밀하고 정확성을 제공합니다. 이 장치에는 수치 조리개 범위가 0.5 ~ 0.75 인 4 개의 리토 그래피 프로젝션 렌즈와 0.2 X 감소 렌즈가 장착되어 다양한 크기, 기판 및 응용 프로그램 작업에서 유연성을 제공합니다. 이 장치는 중대형 석판화 (lithograpy) 용으로 설계되었으며, 낮은 소유 비용과 긴 수명 주기 (life cycle) 를 제공합니다. KARL SUSS MA 100 E는 매우 자동화되어 안정적이고 안정적인 프로세스를 제공하며 배치 (batch) 및 분할 (split) 웨이퍼 처리를 모두 수행할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 제어 시스템이 제공되며, 비전 시스템 (Vision System) 과 정렬 Fiducial Mark 인식 및 오버레이 보정이 장착되어 있습니다. 기판 크기에 관계없이 용량을 정확하게 제어하면서 노출 시간 (2 초) 이 짧을 수 있습니다. 이 장치는 또한 프로세스 관리 자동화 (Automated Process Management) 를 제공하며, 엄격한 프로세스 제어 매개변수를 통해 웨이퍼 배치에 걸쳐 일관된 처리, 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치는 개인용 컴퓨터 (Personal Computer) 와 Linux 서버에서 모두 실행되며, 사용자는 시스템 구성을 쉽게 사용자 정의하여 원하는 성능 매개변수를 포함할 수 있습니다. 이 장치는 카세트-카세트 모듈 (Cassette to Cassette Module) 과도 호환되므로 진공 환경을 끊지 않고도 빠르고 쉽게 로드하고 언로드할 수 있습니다. MICROTEC MA 100E는 2D/3D 미세 구조 및 표면 마이크로 머신의 생산에 이상적인 견고하고 신뢰할 수있는 장치입니다. 운영, 유지 보수가 용이하며, 장기적인 생산성과 최소한의 다운타임을 제공합니다. 기업을 위한 경제적인 솔루션이기도 하다. 이른바 "대형근로영역 '이다.