판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185932

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E 마스크 정렬기는 광석판 패턴을 기판에 빠르고 정확하게 정렬하도록 설계된 고급 반도체 처리 장비입니다. 평면 패널 디스플레이, 집적 회로, 미세 전기 기계 시스템 (MEMS) 과 같은 응용 프로그램을위한 복잡한 장치의 제작에 사용됩니다. 정렬기는 CAC (chromatic aberration compensation) 를 사용하여 최적의 이미지 형성을 보장하는 매우 정확하고 고해상도 광학 시스템을 갖추고 있습니다. CAC 장치는 작고 정확하게 식별하고 정렬하기 어려운 기능을 위한 향상된 해상도를 제공합니다 (영문). MICROTEC MA100E는 자동 패턴 인식 및 정렬 기능을 제공하여 정렬 프로세스를 단순화합니다. 레이저 기반 비전 시스템과 정밀 x-y 드라이브 메커니즘의 독특한 조합을 사용하여 패턴 모서리 위치를 정확하게 측정하고 보간합니다. 이를 통해 1jm 이하의 정밀한 정렬이 가능합니다. 또한 40 미크론 해상도의 고속 Z축 드라이브 머신 (Z-axis drive machine) 을 사용하여 다양한 두께의 표면에 패턴을 빠르게 노출 할 수 있습니다. 최대 6 인치 직경의 기판을 수용 할 수있는 높은 노출 필드가 있습니다. 또한, 기계에는 자동 작업 또는 수동 제어를 위해 프로그래밍 할 수있는 터치 스크린 컨트롤이 있습니다. 이 도구는 또한 통합 웨이퍼 처리 시스템, 완전 자동화 된 유체 공학, 근접 센서 및 진공 척 (vacuum chuck) 을 제공하여 다양한 프로세스를 용이하게합니다. KARL SUSS MA 100 E는 10 초에서 500 초 사이의 다양한 노출 시간과 호환되며, 다양한 화학 물질 및 저항 재료와 호환됩니다. 고급 마스크 정렬 기능의 경우 KARL SUSS MA 100E가 이상적인 선택입니다. 특유의 기능과 기능의 조합은 매우 정밀하게 복잡한 장치를 만드는 데 이상적인 솔루션입니다 (영문).