판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185929

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E는 microfabrication을위한 장치 제조에 사용되는 고급 마스크 정렬 자입니다. 이 장치는 실리콘 웨이퍼, 마스크 및 기판의 고정밀 정렬을 위해 설계되었습니다. MA100 정렬기는 가공되는 오브젝트를 정확하게 정렬하기 위해 레이저 정렬 (Laser Alignment) 기술을 사용하는 고정밀 광학 서브시스템으로 구성됩니다. 여기에는 자외선 (UV) 및 가시 광선과 같은 다양한 파장의 레이저가 포함됩니다. 또한 표준 6 인치 포토 마스크 및 서브 미크론 정렬 정밀도도 포함됩니다. 이 기계는 사진 촬영 (photolithography), 이온 밀링 (ion-milling) 및 이온-에칭 (ion-etching) 단계를 포함하여 단일 장치에서 다양한 작업을 수행 할 수 있습니다. 고정밀도 광학 정렬 기술 덕분에 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 기기의 웨이퍼 다이킹 (wafer dicing) 과 아키텍처 관련 작업에도 적합하다. 또한 정밀 필름에 패턴 염색이 가능합니다. MA100에는 광학 이미징 현미경, 단계 및 도량형 시스템의 세 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 광학 이미징 현미경 (Optical Imaging Microscope) 은 가공되는 장치의 고해상도 이미징 (High-resolution Imaging) 을 제공하여 사용자가 간격이나 오정을 조정할 수 있도록 합니다. 스테이지는 마스크 및 기판의 정확한 이동을 제공하며, 이는 정확한 패턴 정렬을 가능하게 합니다. 한편, 도량형 시스템은 장치의 정확한 위치 및 정렬 정확도를 측정하는 데 사용됩니다. MA100 에는 여러 개의 추가 기능 (예: 초점 깊이의 여러 레이어) 이 추가되어 여러 계층에서 동시에 머시닝할 수 있습니다. 또한, 사용자가 정렬 프로세스를 최적화할 수 있도록 정렬 중에 웨이퍼 (wafer) 를 재배치할 수 있습니다. 또한, 처리 중 누적 오류를 최소화하는 데 도움이 되는 프로세스 안정성 (process stability) 기능이 있습니다. 마지막으로, 사용자가 머시닝 프로세스의 진행을 추적할 수 있는 통계 출력 피쳐 (statistics output feature) 가 포함됩니다. 요약하면, MICROTEC MA100E는 마이크로 일렉트로닉 장치의 제조에 사용되는 고급 마스크 정렬 자입니다. 레이저 정렬 (laser alignment) 기술을 사용하여 웨이퍼, 마스크 및 기판을 정확하게 정렬하고 정밀 필름에 패턴 염색이 가능합니다. 또한 프로세스 안정성 (process stability), 오류 추적 (tracking of error) 등 다양한 추가 기능을 제공하여 부드럽고 효율적인 머시닝 프로세스를 보장합니다.