판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185927
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ID: 9185927
Mask aligner
Damaged parts:
Mercury lamp controller
WEC
Sensor
Control cabinet
Non-functional
Currently installed.
KARL SUSS/MICROTEC MA 100E는 사진 해설에 사용되는 정밀 마스크 정렬 도구입니다. 이 다용도 기계 는 첨단 연구 에서 상업 생산 에 이르기 까지, 광범위 한 "응용프로그램 '에 적합 하다. MICROTEC MA100E는 매우 정확한 직접 2D 컨트롤, 동작 및 온도 조절을 제공합니다. 또한 안전 및 프로세스 관련 제어 기능을 갖춘 통합 기계 제어 시스템 (Integrated Machine Control System) 이 제공됩니다. 마스크 정렬기는 6-in 1, 고반사, 저-산포 광학 시스템을 포함한 고성능 광학을 제공합니다. 이 광학은 다양한 응용프로그램에 적합한 조명과 이미징 (Imaging) 시스템을 제공하도록 설계되었습니다. 이 "디자인 '은 또한 먼지 에 대한 저항력 이 강하여, 흔히 생산 시설 에서 직면 하는 험난 한 환경 에 적합 하다. KARL SUSS MA 100 E에는 고해상도 XY 동력 스테이지가 있으며, 최대 400äm의 다양한 샘플 크기를 수용 할 수 있으며, 다양한 포토 마스크 및 기판에 적합합니다. 또한 전용 정밀도 정렬을위한 스루렌즈 센터 파인더 (through-the-lens center finder) 와 같은 고급 정렬 기술이 특징입니다. 또한 KARL SUSS/MICROTEC MA 100 E에는 빠른 매개 변수 설정 및 레시피 관리를 지원하는 그래픽 사용자 인터페이스가 포함 된 통합 프로세스 제어 소프트웨어가 제공됩니다. 이를 통해 정렬자는 생산 설비 (production facility) 에서 쉽게 사용할 수 있으며 반복 가능하고, 정확도가 높은 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로, MA100E는 다양한 photolithography 응용 프로그램에 적합한 훌륭한 마스크 정렬 자입니다. 다양한 기능을 제공하므로, 사용하기 쉽고, 안정적이고, 반복적으로 활용할 수 있는 결과를 얻을 수 있습니다. 결과적으로, 그것은 고급 연구와 상업 생산에 큰 선택입니다.
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