판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293668185

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E Mask Aligner는 정밀한 석판화 패턴 기판의 마이크로 패브릭션에 사용되는 최첨단 장치입니다. 이 마스크 정렬기 (mask aligner) 는 기판 위에 사전 패턴 된 마스크를 정확하게 배치하는 데 사용되며, 이어서 자외선에 노출되어 기판에 원하는 패턴을 생성합니다. MICROTEC MA100E에는 x, y 및 z 방향으로 작동하고 컴퓨터 화 된 인터페이스를 통해 제어되는 정밀 동작이 있습니다. 이를 통해 기판 위에 마스크를 정확하게 배치할 수 있습니다. 고도로 정확하고 자동화된 샘플 처리 (sample handling) 메커니즘이 있어 두꺼운 샘플을 사용해도 정렬이 정확합니다. 또한 조정 가능한 높이 셔터 (height shutter) 를 갖추고 있어 더 큰 기판을 장비와 함께 사용할 수 있으며, 다양한 배율에서 선명하게 이미징할 수있는 2 개의 초점 메커니즘이 있습니다. KARL SUSS MA 100 E Mask Aligner는 x, y 및 z 축에서 매우 높은 정확도로 고정밀 이동식 단계를 사용합니다. 이를 통해 나노 미터 수준의 정밀도로 기판 위에 마스크를 안정적이고 신속하게 배치 할 수 있습니다. "마스크 '와 기판 에 접하는" 스테이지' 의 부면 은 "랩핑 '되고 전기 방전 이 가공 되어 기판 과" 마스크' 사이 에 좋은 접촉 을 유지 하고, 따라서 정확 한 정렬 을 한다. 패턴 왜곡을 줄이기 위해 MA100E에는 특허를 받은 사전 정렬 (pre-alignment) 시스템이 장착되어 있는데, 이 시스템은 두 개의 개별 구성 요소로 구성되어 있습니다. 한 컴포넌트는 참조 마커 (reference marker) 를 사용하여 스테이지 위치 오류를 수정하고, 다른 컴포넌트는 특허받은 고정 광학 정렬 장치 (fixed-optics alignment unit) 를 사용하여 칩과 마스크 간의 정렬을 수행합니다. 이를 통해 짧은 시간 내에, 그리고 최소한의 운영자 오류 (operator error) 공간을 통해 정확한 처리가 이루어집니다. MA 100E Mask Aligner는 다재다능하고 신뢰할 수있는 기계로, 기판 패턴화를 위한 뛰어난 해상도를 제공합니다. 높은 정확도와 정확도로 MICROTEC MA 100E는 업계에서 가장 높은 품질의 석판화 결과를 제공합니다.