판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293623405

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E는 사진 촬영, 자외선 노출, 전자 빔 노출 등 다양한 작업에 적합한 고급 사용자 친화적 인 마스크 정렬기입니다. 이 정렬기는 효율적인 1 축 모듈 식 플랫폼을 기반으로 제작되었으며, 최대 20 미크론의 빠르고 정확한 정렬을 위해 강력한 듀티 G 클램핑 (G-clamping) 장비를 갖추고 있습니다. MICROTEC MA100E에는 350mm 스테이지, 8 인치 수동 노출 스테이지 및 광 정렬과 통합된 정확한 웨이퍼 레벨링 시스템이 있습니다. 이 단위는 여러 레이어 응용 프로그램에 대한 정확한 이미징을 달성하기 위해 다른 수준의 프로세스 레이어 (process layer) 를 정확하게 노출시킬 수 있습니다. KARL SUSS MA 100 E에는 레이저 이미징 및 표준 노출 광학 (예: 강도 제어 기계, 빔 균일성 및 셔터 노출 시간) 과 같은 다양한 광학 노출 기능이 제공됩니다. 또한 0.1 미크론 (미크론) 의 고해상도 노출 정확도로 신속한 이미징 작업을 가능하게 하는 자동 노출 도구 (Exposure Tool) 를 제공합니다. 마스크 정렬자 (mask aligner) 는 또한 노출 챔버의 오염을 제거하고 단단한 밀봉 정렬을 보장하는 진공 흡입 에셋과 함께 제공됩니다. 또한 MICROTEC MA 100E에는 스캐닝 커브, 높이 매핑, 동적 정렬 모드 (dynamic alignment mode) 와 같은 다양한 정렬 기능을 제공하는 직관적이고 강력한 정렬 소프트웨어 패키지가 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 레티클을 빠르고 정확하게 정렬할 수 있으므로 처리량 및 생산성이 향상됩니다. 또한 사용자는 이미지 캡처 기능을 통해 노출 결과를 정확하게 분석할 수 있습니다. 전반적으로 MA100E (MA100E) 는 반도체 업계의 고급 노출 프로세스에 이상적인 안정적이고 다양한 마스크 정렬 장치입니다. 고효율의 1축 모듈식 플랫폼과 직관적인 소프트웨어 패키지를 통해 생산량 증가와 더불어 정확하고 빠르게 정렬할 수 있습니다 (영문).