판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293607936

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E는 고급 웨이퍼 레벨 장치 제조에 사용되는 정밀 마스크 정렬 자입니다. 분해능은 1 온이며, 3 온의 공정 제어에 기초한 균일 성은 0.7 온입니다. 이 장비는 고속 정렬, 현장 작업 전환, 고급 처리를 지원하는 전체 영역 오버레이 정렬 방법 (Overlay Alignment Method) 으로 설계되었습니다. 발전기는 빠른 변경 로봇을 통해 빠르게 변경되는 6 "또는 8" 가공소재 크기의 5 개의 헤드를 사용합니다. 14 비트 ADC와 12.5dB의 이득을 가진 13 비트 DAC가 있습니다. 기계의 단계 및 반복 정확도는 0.2 m 이내이며, 등록 정확도는 0.3 m입니다. 최소 필드 크기는 0.6mm, 최대 200mm 인 필드 크기를 조정할 수 있습니다. MICROTEC MA100E 의 시스템 컨트롤러 (System Controller) 는 정교한 멀티 제품 프로그래밍, 다중 설계 데이터베이스 항목을 정의하는 기능, 프로세스 데이터베이스의 제품을 다루는 통합 데이터베이스 등을 제공합니다. 데이터를 데이터베이스에 입력하여 작업을 반복할 수 있습니다. 이 장치는 고급 레티클 스티칭, 고속 비전 포커스, 코너 스티칭, 편리한 터치 스크린 제어 등 다양한 이미징 도구를 제공합니다. 사진 마스킹 장치 (photo-masking unit) 와의 정렬 등록이 특징이며, 다양한 기판에서 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 고정밀 역학은 종횡비가 높은 고급 구조를 지원하며, 단계 및 반복 자동 초점 (step-and-repeat autofocus) 은 정확한 이미지 전송 및 등록을 보장합니다. 고급 리소그래피 머신 (lithography machine) 을 사용하면 비계가 필요하지 않은 작은 구조물의 정확도가 높고 노출됩니다. KARL SUSS MA 100 E는 빠르고 정확한 정렬을 제공하여 전반적인 처리량과 수율을 향상시킵니다. 직관적이고 사용하기 쉬운 소프트웨어로 고품질 웨이퍼 (wafer) 제조를 보장하며 매우 고해상도 이미지를 제작할 수 있습니다. 높은 성능, 통합형 데이터베이스, 즉, 장치 제작에서 최상위 수준의 생산성을 위한 탁월한 선택입니다.