판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293601791

ID: 293601791
빈티지: 2011
Mask aligner 2011 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 100E는 반도체 웨이퍼 및 기타 기판에 응용하기 위해 photolithography 서비스를 제공하도록 설계된 마스크 정렬 자입니다. 정확성과 반복성이 높은 정밀성 (precision positioning) 장비다. MICROTEC MA100E (MICROTEC MA100E) 는 반도체 기판에서 마이크로 부품 또는 부품을 정확하게 정렬해야 하는 연구 목적에 이상적입니다. 정밀 정렬 정확도가 ± 1 미크론 인 마스크 패턴 (mask pattern) 으로 기판을 노출시키는 기능이 있습니다. 자동 초점 6 "마스크 홀더, 6" 스테퍼 또는 6 "스캐너를 포함하여 노출 도구 선택을 통해 다재다능성을 제공합니다. 스테퍼와 스캐너에는 다양한 마스크 크기로 사용할 수있는 다양한 레티클이 있습니다. KARL SUSS MA 100 E의 정렬 테이블 (alignment table) 은 전동화되어 있으며 정밀 그리드 포지셔닝 시스템을 특징으로하여 기판 및 마스크의 정확하고 반복 가능한 정렬을 보장합니다. 자동 셔터 기능을 사용하면 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 기능은 데이터 입력 및 프로그램 선택을 용이하게 하는 소프트 터치 (soft-touch) 키패드를 통해 활성화됩니다. KARL SUSS MA100E는 2 개의 광학 시스템으로 설계되었으며, 하나는 정렬용으로, 다른 하나는 노출용으로 설계되었습니다. 정렬 시스템에는 인코더와 함께 작동하는 반 역 비디오 현미경이 장착되어 있습니다. 노출 시스템은 자동 셔터가있는 뛰어난 UV 램프입니다. MICROTEC MA 100E는 프로그래밍, 데이터 입력, 프로세스 제어 및 조정을 용이하게 하는 포괄적인 소프트웨어 제품군과 함께 제공됩니다. 그 방법 은 노출 강도, "마스크 '의 근접도, 노출 과정 의" 타이밍' 을 조절 할 수 있다. MA100E는 높은 정밀도/고출력 어플리케이션을 위해 제작되었습니다. 제조 공정 에는 최상 의 품질 표준 을 인정 하기 위한 일련 의 내부 "테스트 '가 행해진다. 이 정렬기는 CE 및 SEMI S2-9001을 포함한 최신 안전 표준을 준수합니다.
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