판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #9352050

ID: 9352050
빈티지: 2002
Mask aligner Manuals 2002 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 1006은 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 사용하도록 특별히 설계된 마스크 정렬 자입니다. 반도체 웨이퍼 (Wafer) 에 복잡한 집적 회로 (Integrated Circuit) 패턴을 정확하고 효율적으로 만드는 데 사용될 수있는 매우 정밀하고 높은 처리량 장비입니다. MICROTEC MA 1006에는 마스크 패턴을 빠르고 정확하게 정렬 할 수있는 수직 플랫 필드/3축 정렬 시스템이 있습니다. 이 장치는 또한 5 메가 픽셀 컬러 카메라가있는 고해상도 이미징 머신과 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 갖춘 고해상도 디지털 이미지 처리 도구를 갖추고 있습니다. 또한, 자산에는 정확성과 자동화를 모두 제공하는 강력하고 안정적인 PLC 제어 모델이 장착되어 있습니다. 또한, 장비의 로드 락 챔버 (load-lock chamber) 는 웨이퍼 처리에서 더 높은 수율에 대한 온도 조절과 함께 프로세스 단계 동안 압력 안정화를 보장합니다. KARL SUSS MA-1006은 탁월한 정확도와 균일성을 가진 서브 미크론 기능 패턴을 만들 수 있습니다. 이는 노출, 미세 각도 노출 (Fine Angled Exposure), 상호 연결 (Interconnect) 프로세스 등을 통해 접촉 노출 (Contact Exposure) 과 같은 다양한 프로세스를 생성하는 데 사용되므로 복잡하고 고밀도 장치를 신뢰할 수 있습니다. 이 시스템에는 문서 용도로 웨이퍼를 정확하게 표시하는 통합 레이저 마킹 모듈도 있습니다. 또한 여러 마스크 패턴을 동시에 정렬하고 이미징하여 효율성을 높일 수 있습니다. 전반적으로, MICROTEC MA-1006은 정밀도 및 정확도로 반도체 웨이퍼에 복잡한 집적 회로 패턴을 만드는 데 사용할 수있는 고급 마스크 정렬기입니다. 강력한 PLC 제어 장치 (PLC-Control Unit), 온도 제어 (Temperature Control) 및 내장형 레이저 마킹 모듈을 통해 다양한 웨이퍼 처리 어플리케이션을 완벽하게 선택할 수 있습니다.
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